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HYBRID MAGNETIC CORE LOADING POWER INDUCTOR commons

Patent code P130010180
File No. N13018
Posted date Dec 25, 2013
Application number P2013-180326
Publication number P2015-050290A
Patent number P6344894
Date of filing Aug 30, 2013
Date of publication of application Mar 16, 2015
Date of registration Jun 1, 2018
Inventor
  • (In Japanese)佐藤 敏郎
  • (In Japanese)曽根原 誠
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人信州大学
Title HYBRID MAGNETIC CORE LOADING POWER INDUCTOR commons
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a hybrid magnetic core loading power inductor excellent in properties in a high frequency region.
SOLUTION: A hybrid magnetic core loading power inductor 10 includes: a substrate 1; a first magnetic layer 3 formed on the substrate; a conductive pattern 5 formed on the first magnetic layer; and a second magnetic layer 6 that covers at least top faces and side faces of the conductive pattern and in which magnetic properties in a direction parallel to the substrate and magnetic properties in a direction perpendicular to the substrate are roughly the same.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

LSI等の電子機器には電源電圧を変換するために多数のDC-DCコンバータが用いられている。特にLSI用のDC-DCコンバータでは、1[A]以上の大電流に対応することが要求されている。しかしながら、配線に大電流を流すと、配線における損失が大きくなるという問題がある。そこで、低損失・高効率なDC-DCコンバータを実現するため、LSIパッケージの内部にDC-DCコンバータを集積化する手法が提案されている。

DC-DCコンバータの中でも特に重要な電子部品として、パワーインダクタの開発が急務になっている。パッケージ内に集積するために、インダクタの形状として必然的に平面スパイラル構造が採用される。しかし、平面スパイラル構造を採用した場合、インダクタの導電パターンからインダクタの上面および下面に生じるスイッチングによるクロストークノイズが問題になる。さらに、配線の近傍に導体が存在すると誘導現象が生じ、LSIの誤動作が生じるため、配線を磁性体によってシールドする必要がある。そこでノイズ抑制とインダクタンス特性の向上のために、導電パターンの周囲を磁性体で覆う方法が提案されている(例えば、特許文献1)。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、ハイブリッド磁心装荷パワーインダクタに関し、特に基板上に形成された導電パターンを磁性層で覆ったハイブリッド磁心装荷パワーインダクタに関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
樹脂の中にガラスフィラーが混入したビルドアップ層と、
前記ビルドアップ層上に形成された平坦化膜と、
前記平坦化膜上に形成された第1の磁性層と、
前記第1の磁性層上に形成された導電パターンと、
少なくとも前記導電パターンの上面及び側面を覆い、基板に水平な方向の磁気特性と前記基板に垂直な方向の磁気特性とがほぼ等しい第2の磁性層と、
を有することを特徴とするハイブリッド磁心装荷パワーインダクタ。

【請求項2】
 
前記第2の磁性層は、誘電体と、該誘電体内に分散した磁性微粒子と、を含む、請求項1に記載のハイブリッド磁心装荷パワーインダクタ。

【請求項3】
 
前記磁性微粒子の径は隣接する導電パターンの間隔よりも小さい、請求項2に記載のハイブリッド磁心装荷パワーインダクタ。

【請求項4】
 
前記第1の磁性層はZn-Feフェライトである、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のハイブリッド磁心装荷パワーインダクタ。

【請求項5】
 
前記第1の磁性層の上側表面及び下側表面の少なくとも一方は平坦である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のハイブリッド磁心装荷パワーインダクタ。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2013180326thum.jpg
State of application right Registered
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