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SPECTRAL CHARACTERISTIC MEASURING APPARATUS AND ADJUSTMENT METHOD THEREOF

Patent code P150011316
File No. S2014-1304-N0
Posted date Feb 17, 2015
Application number P2015-015735
Publication number P2016-142523A
Patent number P6482886
Date of filing Jan 29, 2015
Date of publication of application Aug 8, 2016
Date of registration Feb 22, 2019
Inventor
  • (In Japanese)石丸 伊知郎
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人香川大学
Title SPECTRAL CHARACTERISTIC MEASURING APPARATUS AND ADJUSTMENT METHOD THEREOF
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectral characteristic measuring apparatus capable of acquiring a clear interferogram.
SOLUTION: A spectral characteristic measuring apparatus comprises: a fixed reflection surface 201 and a movable reflection surface 301 arranged side by side; an objective lens 10 for guiding a measurement beam emitted from a measurement point of a measurement target object to the fixed reflection surface 201 and the movable reflection surface 301; an imaging lens 12 for condensing measurement beams reflected on the fixed reflection surface 201 and the movable reflection surface 301 onto an imaging surface respectively; a CCD camera 13 having a plurality of detection pixels two-dimensionally arranged on the imaging surface; and a processing unit 141 finding an interferogram of the measurement beam on the basis of light intensity change detected by the CCD camera 13 by moving the movable reflection surface 301, and acquiring a spectrum through Fourier transformation of the interferogram. The apparatus further comprises a determination unit 142 which determines whether or not the movable reflection surface 301 is relatively inclined with respect to the fixed reflection surface 201 on the basis of the detection result of the CCD camera 13.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

分光特性の測定技術の一つに結像型2次元フーリエ分光法と呼ばれる手法がある(特許文献1参照)。この手法では、図1に示すように、試料面(物体面)から発せられる無指向の光(測定光)を対物レンズにより平行光束にした上で、固定ミラー部と可動ミラー部から成る位相シフタに照射し、両ミラー部で反射された測定光(反射光)をそれぞれ結像レンズにより結像面上の同一点に集光させる。可動ミラー部を移動させて固定ミラー部で反射された測定光と可動ミラー部で反射された測定光の間に光路長差を付与することにより、結像面上に集光した測定光が干渉し、該測定光の干渉光を形成する。この干渉光の強度を、結像面上に配置されたCCDカメラなどの2次元アレイデバイスの各画素において検出することにより、干渉光強度変化であるインターフェログラムが取得され、このインターフェログラムを数学的にフーリエ変換することにより測定光の分光特性(スペクトル)が取得される。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、被測定物から発せられる透過光や反射光、蛍光等の測定光の分光特性を測定するための分光特性測定装置及びその調整方法に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
a) 並んで配置された固定反射面及び可動反射面と、
b) 被測定物の測定点から発せられた測定光を前記固定反射面と前記可動反射面に導く導入光学系と、
c) 前記固定反射面に導入され該固定反射面によって反射された測定光と、前記可動反射面に導入され該可動反射面によって反射された測定光をそれぞれ結像面上に集光させる結像光学系と、
d) 前記結像面上に2次元配置された複数の検出画素を有する、前記結像面上に集光した光の強度を検出するための光検出部と、
e) 前記可動反射面を移動させることにより前記光検出部で検出される光強度変化に基づき、前記測定光のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部とを備えた分光特性測定装置において、
前記光検出部の検出結果に基づき前記固定反射面に対して前記可動反射面が相対的に傾いているか否かを判別する判別手段と
前記被測定物の表面に設置される、ピンホールを有する調整部材とを備え、
前記導入光学系が、前記ピンホールを通して発せられた測定光を前記固定反射面と前記可動反射面に導くことにより、前記結像面上に形成される輝点像の位置に基づき、前記判別手段は前記固定反射面に対して前記可動反射面が相対的に傾いているか否かを判別することを特徴とする分光特性測定装置。

【請求項2】
 
さらに、
前記可動反射面に平行な第1軸周りの該可動反射面の傾き量を調整するための第1治具と、前記第1軸に垂直で且つ前記固定反射面に平行な第2軸周りの該固定反射面の傾き量を調整するための第2治具とを備えることを特徴とする請求項1に記載の分光特性測定装置。

【請求項3】
 
a) 並んで配置された固定反射面及び可動反射面と、
b) 被測定物の測定点から発せられた測定光を前記固定反射面と前記可動反射面に導く導入光学系と、
c) 前記固定反射面に導入され該固定反射面によって反射された測定光と、前記可動反射面に導入され該可動反射面によって反射された測定光をそれぞれ結像面上に集光させる結像光学系と、
d) 前記結像面上に2次元配置された複数の検出画素を有する、前記結像面上に集光した光の強度を検出するための光検出部と、
e) 前記可動反射面を移動させることにより前記光検出部で検出される光強度変化に基づき、前記測定光のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部とを備えた分光特性測定装置において、
さらに、
前記処理部が求めた前記測定光のインターフェログラムを表示する出力部と、
前記可動反射面に平行な第1軸周りの該可動反射面の傾き量を調整するための第1治具と、
前記第1軸に垂直で且つ前記固定反射面に平行な第2軸周りの該固定反射面の傾き量を調整するための第2治具とを備えることを特徴とする分光特性測定装置。

【請求項4】
 
a) 並んで配置された固定反射面及び可動反射面と、
b) 被測定物の測定点から発せられた測定光を前記固定反射面と前記可動反射面に導く導入光学系と、
c) 前記固定反射面に導入され該固定反射面によって反射された測定光と、前記可動反射面に導入され該可動反射面によって反射された測定光をそれぞれ結像面上に集光させる結像光学系と、
d) 前記結像面上に2次元配置された複数の検出画素を有する、前記結像面上に集光した光の強度を検出するための光検出部と、
e) 前記可動反射面を移動させることにより前記光検出部で検出される光強度変化に基づき、前記測定光のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
f) 前記被測定物の表面に設置される、ピンホールを有する調整部材とを備えた分光特性測定装置において、
前記導入光学系が、前記ピンホールを通して発せられた測定光を前記固定反射面と前記可動反射面に導くように構成されており、
前記光検出部の検出結果に基づき前記固定反射面に対する前記可動反射面の相対的な傾きを調整することを特徴とする分光特性測定装置の調整方法。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2015015735thum.jpg
State of application right Registered
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