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回折環計測装置 UPDATE 新技術説明会

国内特許コード P150012229
整理番号 2013-007
掲載日 2015年9月1日
出願番号 特願2013-216799
公開番号 特開2015-078934
登録番号 特許第6313010号
出願日 平成25年10月17日(2013.10.17)
公開日 平成27年4月23日(2015.4.23)
登録日 平成30年3月30日(2018.3.30)
発明者
  • 佐々木 敏彦
  • 宮崎 利行
出願人
  • 国立大学法人金沢大学
発明の名称 回折環計測装置 UPDATE 新技術説明会
発明の概要 【課題】回折環の撮像から解析までをリアルタイムに行う回折環計測装置を提供する。
【解決手段】回折により発生する回折環を計測する回折環計測装置10は、計測対象物にビームを照射するX線照射部14と、計測対象物からの回折ビームにより形成される回折環を撮像する撮像部15と、撮像部により撮像された回折環を表す回折環画像を生成する画像処理部16と、画像処理部により生成された回折環画像を解析するデータ処理部17とを備え、撮像部15は、(a)ビームが通過する貫通孔を中央部に有し、回折環を撮像する第1の固体撮像素子、および、(b)回折環の互いに異なる部分を撮像する複数の第2の固体撮像素子の何れか一方を有する。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要


従来の回折環計測装置に関して、特許文献1に開示されたX線回折装置や、特許文献2に開示されたX線応力測定方法等がある。



非特許文献1では、非特許文献2に開示されたX線応力測定方法の1つであるcosα法を発展させて回折環の2次元的データを解析することによって全平面応力成分を単一のX線照射によって同時一括に計測する手法が開示されている。また、非特許文献3では、cosα法によりX線応力測定を行う上で、スポッティ化した(つまり粒状性のある)回折環から精度良く応力を求める画像処理方法としてソフトウェア揺動法を開示している。

産業上の利用分野


本発明は、計測対象物にX線を照射してこの計測対象物で回折したX線により形成される回折環を計測する回折環計測装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
回折により発生する回折環を計測する回折環計測装置であって、
計測対象物に回折する性質をもつビームを照射する照射部と、
前記ビームが通過する貫通孔を有する基台と、
前記基台の前記貫通孔を除く領域に配置され、前記計測対象物からの回折ビームにより形成される前記回折環を撮像する複数の固体撮像素子と、
前記複数の固体撮像素子により撮像された複数の画像から回折環を表す回折環画像を生成する画像処理部とを有する回折環計測装置。

【請求項2】
前記複数の固体撮像素子は、前記貫通孔を中心として略点対称に配置される請求項1に記載の回折環計測装置。

【請求項3】
記複数の固体撮像素子のそれぞれは、
貫通孔を中心とする扇形から扇央を含む扇形部分を除外した形状をもつ撮像エリア
前記貫通孔を中央とする極座標に沿って配置された複数の光電変換部
を有し、
前記複数の光電変換部のそれぞれの受光面積は、前記極座標の内側の光電変換部の受光面積よりも大き
請求項1または請求項2に記載の回折環計測装置。

【請求項4】
記複数の固体撮像素子は、2の固体撮像素子であり、
前記画像処理部は、前記2つの固体撮像素子により撮像された2つの画像から前記回折環画像を生成する
請求項1または請求項2に記載の回折環計測装置。

【請求項5】
記複数の固体撮像素子は、4の固体撮像素子であり、
前記画像処理部は、前記4つの固体撮像素子により撮像された4つの画像から前記回折環画像を生成する
請求項1または請求項2に記載の回折環計測装置。

【請求項6】
記複数の固体撮像素子は、前記貫通孔を中心に放射状に配置される5つ以上のラインセンサであり
記画像処理部は、前記5つ以上のラインセンサにより撮像された5つ以上の画像から前記回折環画像を生成する
請求項1または請求項2に記載の回折環計測装置。

【請求項7】
前記5つ以上のラインセンサのそれぞれは、ライン状に配置された複数の光電変換部を有し、
前記複数の光電変換部のそれぞれの受光面積は、前記放射状の内側の光電変換部の受光面積よりも大きい
請求項に記載の回折環計測装置。

【請求項8】
前記基台は、前記貫通孔を中心として前記計測対象物側に傾斜する傾斜面を有し、
前記ラインセンサは、前記傾斜面に配置される
請求項6または請求項7に記載の回折環計測装置。

【請求項9】
前記照射部は、前記計測対象物の照射面に対して45度または90度の角度で前記ビームを照射する
請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の回折環計測装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 登録
(有)金沢大学ティ・エル・オーは、金沢大学の研究者の出願特許を産業界へ技術移転することを主目的として、金沢大学の教官の出資により設立された技術移転機関です。
ご興味のある方は、下記「問合せ先」へ整理番号と共にご連絡願います。
なお、既に活用のお申し込み・お打合わせ等の段階に入っている場合もございますので、予めご承知おきください。


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