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MEASUREMENT METHOD FOR SURFACE SHAPE BY WHITE INTERFEROMETER DEVICE

Patent code P150012295
File No. S2014-0054-N0
Posted date Sep 9, 2015
Application number P2013-215565
Publication number P2015-078879A
Patent number P6257072
Date of filing Oct 16, 2013
Date of publication of application Apr 23, 2015
Date of registration Dec 15, 2017
Inventor
  • (In Japanese)伊藤 雅英
  • (In Japanese)雷 楓
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人筑波大学
Title MEASUREMENT METHOD FOR SURFACE SHAPE BY WHITE INTERFEROMETER DEVICE
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To measure a height of a measurement target surface of an object to be measured and a surface shape of the measurement target surface at high speed and with high accuracy on the basis of a comparatively small number of pieces of data.
SOLUTION: A sampling interval for measuring an object to be measured 12 by a white interferometer device 1 is set, a specific part of a measurement target surface in the object to be measured 12 is imaged at the set sampling interval a plurality of times, image data obtained by the plurality of times of imaging are divided into an even data set of even-numbered image data and an odd data set of odd-numbered image data, density values of the specific part that is the measurement target surface in the object to be measured 12 are acquired from the respective even data set and odd data set to obtain modulation waves, the modulation waveform having higher contrast of them is selected, the selected modulation waveform is interpolated by the Fourier transform, and data related to a height of the specific part of the measured object 12 is obtained from a peak position of the interpolated modulation waveform.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

従来、被測定物の測定対象箇所の高さ、長さ等を含め表面形状を測定する白色干渉計装置は周知である(特許文献1~3、非特許文献1等参照)。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、白色干渉計装置による被測定物の表面形状の測定方法に関する。即ち、本発明は、白色光源を用いて干渉を利用し被測定物の高さ、長さ等を含め表面形状を短時間で測定とする白色干渉計装置による表面形状の測定方法に関する発明である。

より詳しくは、本発明は、白色干渉計装置によって、被測定物の測定対象表面をサンプリングして得た白色干渉信号に基づく変調波形を補間し、変調波形のピーク位置を求め、該ピーク位置を利用して、表面形状の測定を行う測定方法に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
白色干渉計装置で被測定物を測定するサンプリング間隔を設定し、
被測定物における測定対象表面の特定箇所を、設定したサンプリング間隔で複数回撮像し、該複数回の撮像で得た画像データを、偶数番目の画像データの偶数データセットと奇数番目の画像データの奇数データセットに分け、
偶数データセットにおけるサンプリング毎の前記特定箇所の濃度値に基づき変調波形を取得し、奇数データセットにおけるサンプリング毎の前記特定箇所の濃度値に基づき変調波形を取得し、偶数データセットと奇数データセットから得た変調波形のうち、コントラストの高い方の変調波形を選択し、
選択した変調波形を、フーリエ変換を行って補間し、補間された変調波形のピーク位置から被測定物の測定対象表面の特定箇所の高さに係るデータを求めることを特徴とする白色干渉計装置による表面形状の測定方法。

【請求項2】
 
補間された変調波形をアンチエイリアシングすることを特徴とする請求項1に記載の白色干渉計装置による表面形状の測定方法。

【請求項3】
 
アンチエイリアシングは、選択した変調波形のサンプリング間隔を、コサイン関数で示される搬送波の周期の倍数にすることによって、搬送波の周波数を遮断することを特徴とする請求項2に記載の白色干渉計装置による表面形状の測定方法。

【請求項4】
 
被測定物における測定対象表面の特定箇所の高さに係るデータを、複数の特定箇所について求めることにより被測定物における測定対象表面の表面形状を測定することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の白色干渉計装置による表面形状の測定方法。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2013215565thum.jpg
State of application right Registered
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