TOP > 国内特許検索 > 試料台及び走査型プローブ顕微鏡
従来、微小な試料を観察するために、原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope:AFM)等の走査型プローブ顕微鏡(Scanning Probe Microscope:SPM)が使用されている。
該走査型プローブ顕微鏡は、観察対象となる試料と先端を尖(とが)らせた探針との間に働く多様な物理量を検出することによって、前記試料の表面形状や物性を測定する顕微鏡の総称である。また、前記原子間力顕微鏡は、観察対象となる試料の近傍に保持された探針と前記試料との間に働く相互作用を、前記探針が先端に取り付けられたカンチレバーやチューニングフォークの変位又は振動特性の変化として検出し、前記相互作用の値を一定に保ちながら前記試料の表面を走査することによって、前記試料の凹凸形状を画像化する装置である。
そして、前記走査型プローブ顕微鏡の観察対象となる試料を保持するための試料台は、一般的には、樹脂、金属等を削り出すことによって作製される。また、一般的に、前記試料台は、試料表面を2次元方向に走査し、かつ、探針と試料との間の距離を制御するためのスキャナに取り付けられて使用される。また、前記試料は、接着剤等によって試料台に固定される。なお、前記試料が微小で試料台に直接固定することができない場合には、前記試料をマイカ、グラファイト等から成る平坦(たん)な基板の表面に固定した後、該基板を試料台に固定する。また、前記試料が液体中に懸濁された物質(例えば、細胞)の場合には、前記液体をメンブランフィルタ等のフィルタを通して吸引濾(ろ)過することによって試料をフィルタの表面に吸着させた後、該フィルタを試料台に固定する(例えば、非特許文献1及び2参照。)。
本発明は、試料台及び走査型プローブ顕微鏡に関するものである。
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