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軟Ｘ線発光分光法は、Ｘ線または電子線を試料に照射して、発生する軟Ｘ線を分光分析する方法であり、試料に含まれる物質の電子状態を知ることができる。しかしながら、試料における軟Ｘ線発光は等方的に生じる発光現象、つまり、光学的には発散光源となる。このため、分析に用いられる軟Ｘ線分光装置では、試料が発する全軟Ｘ線のうち、限れた方向に進む一部のみが検出されることになる。
軟Ｘ線分光装置には、分光を行うための回折格子と、分光後の軟Ｘ線を検出するための検出器とが備えられる（たとえば特許文献１参照）。従来の軟Ｘ線分光装置の構成を図９に示す。軟Ｘ線分光装置は、回折格子９１と検出器９２とを備え、試料Ｓに対してＸ線または電子線が照射される。図９において、（ａ）は回折格子９１に垂直な平面に沿って見た平面図、（ｂ）は側面図である。可視光に比べて遥かに短波長である軟Ｘ線（波長１ｎｍ程度）のための回折格子９１は、図９（ｂ）に示したように、入射角が極めて大きい（９０°に近い）斜入射配置にする必要がある。
なお、図示しないが、分解能を高めるために、試料から回折格子９１に至る軟Ｘ線の光路に、軟Ｘ線の線束の幅を回折方向（回折格子に垂直な方向）において制限するスリットを配置したり、励起のために照射するＸ線または電子線を微小なスポットに収束させる光学系を、試料の前に配置したりしている。後者は、スリットレス分光装置と呼ばれており、スリットを備える構成と同等の分解能でありながら、試料からの軟Ｘ線の利用効率が高く、したがって検出感度が高い。
本発明は、軟Ｘ線分光装置に関し、特に、軟Ｘ線分光装置における入射軟Ｘ線の利用効率を向上させる分光装置に関する。
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