TOP > 国内特許検索 > 走査型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡

国内特許コード P170014397
整理番号 P16-011
掲載日 2017年7月12日
出願番号 特願2016-234584
公開番号 特開2018-091695
出願日 平成28年12月1日(2016.12.1)
公開日 平成30年6月14日(2018.6.14)
発明者
  • 内橋 貴之
  • 柴田 幹大
  • 古寺 哲幸
出願人
  • 国立大学法人金沢大学
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡
発明の概要 【課題】観測画像に歪みが生じるのを抑制することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】観測試料20を載置する試料ステージ22と、観測試料20の表面状態または動態を観測する探針10と、試料ステージ22を駆動するスキャナ24と、スキャナ24の動作を制御するコンピュータ35とを備え、コンピュータ35は、所定の周期で振幅の増加および減少を繰り返す走査電圧をスキャナ24に印加し、走査電圧は、振幅の増加開始直後の第1の期間における振幅の増加の加速度が正の値である。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要


走査型プローブ顕微鏡は、プローブを試料に対して走査することにより、凹凸などの試料表面の物理情報または試料の化学的性質を信号として取得する顕微鏡である。



走査型プローブ顕微鏡には、例えば、原子間力顕微鏡(AFM)、走査型トンネル顕微鏡(STM)、走査型磁気力顕微鏡(MFM)、走査型電気容量顕微鏡(SCaM)、走査型近接場光顕微鏡(SNOM)、走査型熱顕微鏡(SThM)、走査型イオン電動顕微鏡(SICM)などがある。これらの走査型プローブ顕微鏡では、プローブまたは試料を水平方向(XY方向)と垂直方向(Z方向)に走査し、得られた試料の物理情報または化学的性質を順次表示することにより、試料の物理情報または化学的性質を画像として表している。



走査型プローブ顕微鏡は、プローブまたは試料を水平方向と垂直方向に走査するために、X、Y、Zの各方向に移動可能な走査機構(Xスキャナ、Yスキャナ、Zスキャナ)を備えている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の走査型プローブ顕微鏡は、水平方向の二次元ラスター走査の走査機構として圧電素子を備えている。当該走査型プローブ顕微鏡では、例えば、X方向の走査について、一定の周期で振幅が変化する三角波の電圧(高周波電圧)を圧電素子からXスキャナに印加することにより、プローブまたは試料をX方向に駆動している。

産業上の利用分野


本発明は、プローブを走査しながら試料の観測を行う走査型プローブ顕微鏡に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
観測試料を載置する試料ステージと、
前記観測試料の表面状態または動態を観測する探針と、
前記試料ステージを駆動するスキャナと、
前記スキャナの動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、所定の周期で振幅の増加および減少を繰り返す走査電圧を前記スキャナに印加し、
前記走査電圧は、振幅の増加開始直後の第1の期間における振幅の増加の加速度が正の値である
走査型プローブ顕微鏡。

【請求項2】
前記走査電圧は、振幅の減少終了直前の第2の期間における振幅の減少の加速度が負の値である
請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。

【請求項3】
前記プローブ顕微鏡は、前記探針で検出した前記観測試料の表面状態または動態を所定のピクセル数の画像として表示する画像処理部を備え、
前記第1の期間とは、前記走査電圧の振幅の増加開始から前記所定の周期の半周期に対応する前記ピクセル数の5%以上10%以下のピクセル数分の期間である
請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。

【請求項4】
前記第1の期間における前記走査電圧は、べき関数で増加する
請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。

【請求項5】
前記第1の期間における前記走査電圧は、5次または6次の関数で増加する
請求項4に記載の走査型プローブ顕微鏡。

【請求項6】
前記第2の期間における前記走査電圧は、2次の関数で減少する
請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。

【請求項7】
前記画像処理部は、前記走査電圧に対応する出力信号を前記走査電圧のタイミングより第3の期間だけ遅延させて出力する
請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。

【請求項8】
前記第3の期間は、前記走査電圧の振幅の増加開始から前記所定の周期の半周期に対応する前記ピクセル数の5%以内のピクセル数分の期間である
請求項7に記載の走査型プローブ顕微鏡。
国際特許分類(IPC)
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2016234584thum.jpg
出願権利状態 公開
(有)金沢大学ティ・エル・オーは、金沢大学の研究者の出願特許を産業界へ技術移転することを主目的として、金沢大学の教官の出資により設立された技術移転機関です。
ご興味のある方は、下記「問合せ先」へ整理番号と共にご連絡願います。
なお、既に活用のお申し込み・お打合わせ等の段階に入っている場合もございますので、予めご承知おきください。


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close