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昇温ホルダおよびプローブ顕微鏡 UPDATE

国内特許コード P170014398
整理番号 P16-012
掲載日 2017年7月12日
出願番号 特願2016-233494
公開番号 特開2018-091666
出願日 平成28年11月30日(2016.11.30)
公開日 平成30年6月14日(2018.6.14)
発明者
  • 内橋 貴之
  • 足立 彗
  • 古寺 哲幸
出願人
  • 国立大学法人金沢大学
発明の名称 昇温ホルダおよびプローブ顕微鏡 UPDATE
発明の概要 【課題】試料を一定の温度で安定して昇温することができる昇温ホルダおよびプローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】昇温ホルダ11は、溶液41を保持する穴部13aを有する溶液保持部13と、溶液保持部13の片面に設けられ、穴部13aの底面を構成する透明部材15と、透明部材15の溶液保持部13が配置された側と反対側の面に設けられた電極16aおよび16bとを備え、電極16aおよび16bに電流を流すことにより穴部13aに保持される観測用溶液41を昇温する。
【選択図】図2
従来技術、競合技術の概要


プローブ顕微鏡は、プローブ(探針)を試料に対して走査することにより、凹凸などの試料表面の物理情報または試料の化学的性質を信号として取得することができる装置である。



プローブ顕微鏡には、例えば、原子間力顕微鏡(AFM)、走査型トンネル顕微鏡(STM)、走査型磁気力顕微鏡(MFM)、走査型電気容量顕微鏡(SCaM)、走査型近接場光顕微鏡(SNOM)、走査型熱顕微鏡(SThM)、走査型イオン電動顕微鏡(SICM)などがある。これらの走査型プローブ顕微鏡では、プローブまたは試料を水平方向(XY方向)と垂直方向(Z方向)に走査し、得られた試料の物理情報または化学的性質を順次表示することにより、試料の物理情報または化学的性質を動的に画像として表す(例えば、特許文献1参考)。



特許文献1に記載の走査型プローブ顕微鏡は、合成高分子の一本鎖の動態の観察が可能な高速走査型プローブ顕微鏡である。当該走査型プローブ顕微鏡では、溶液中に配置された試料の表面に探針を走査することにより観測試料の動態の観察を行っている。

産業上の利用分野


本発明は、プローブ顕微鏡において、観測試料を昇温するための昇温ホルダに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
溶液中で試料を計測するための前記溶液を昇温する昇温ホルダであって、
前記溶液を保持する穴部を有する溶液保持部と、
前記溶液保持部の片面に設けられ、前記穴部の底面を構成する透明部材と、
前記透明部材の前記溶液保持部が配置された側と反対側の面に設けられた電極とを備え、
前記電極に電流を流すことにより前記穴部に保持される前記溶液を昇温する
昇温ホルダ。

【請求項2】
前記昇温ホルダは、前記溶液保持部の前記透明部材が配置された側と反対側の面に、前記試料に対して相対的に走査される探針を支持する探針支持部を備え、
前記探針の先端は、前記透明部材が配置された側と反対側を向くように前記探針支持部に支持されている
請求項1に記載の昇温ホルダ。

【請求項3】
前記透明部材は、ITO(Indium Tin Oxide)膜を有する
請求項2に記載の昇温ホルダ。

【請求項4】
前記透明部材は、前記ITO膜と前記溶液保持部との間に透明の絶縁体を有する
請求項3に記載の昇温ホルダ。

【請求項5】
前記昇温ホルダは、前記溶液を供給する溶液供給部を備える
請求項1~4のいずれか1項に記載の昇温ホルダ。

【請求項6】
請求項1~5のいずれか1項に記載の昇温ホルダと、
前記試料に対して相対的に走査される探針と、
前記試料を保持する試料ホルダと、
前記試料ホルダを走査するスキャナと、
前記探針に所定の周波数の電圧を印加する発振器と、
前記所定の周波数に対応する周波数で変化する振幅信号を検出する振幅検出部と、
前記振幅信号に基づいて画像を生成する画像処理部と、
前記画像を表示する表示部とを備える
プローブ顕微鏡。

【請求項7】
前記昇温ホルダに保持されている前記溶液の温度を検出する温度センサ部と、
前記溶液の温度を所定の温度にするために前記昇温ホルダの温度を制御する温度制御部とを備える
請求項6に記載のプローブ顕微鏡。

【請求項8】
前記温度制御部は、前記溶液保持部の穴部に保持されている前記溶液の温度変化から前記溶液の蒸発量を計算し、
前記プローブ顕微鏡は、前記計算した蒸発量に基づいて、前記溶液供給部により前記溶液を前記溶液保持部の前記穴部に供給する
請求項5に従属する請求項6に記載のプローブ顕微鏡。
国際特許分類(IPC)
画像

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出願権利状態 公開
(有)金沢大学ティ・エル・オーは、金沢大学の研究者の出願特許を産業界へ技術移転することを主目的として、金沢大学の教官の出資により設立された技術移転機関です。
ご興味のある方は、下記「問合せ先」へ整理番号と共にご連絡願います。
なお、既に活用のお申し込み・お打合わせ等の段階に入っている場合もございますので、予めご承知おきください。


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