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TEMPERATURE RAISING HOLDER AND PROBE MICROSCOPE

Patent code P170014398
File No. P16-012
Posted date Jul 12, 2017
Application number P2016-233494
Publication number P2018-091666A
Date of filing Nov 30, 2016
Date of publication of application Jun 14, 2018
Inventor
  • (In Japanese)内橋 貴之
  • (In Japanese)足立 彗
  • (In Japanese)古寺 哲幸
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人金沢大学
Title TEMPERATURE RAISING HOLDER AND PROBE MICROSCOPE
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a temperature raising holder capable of stably raising a temperature of a sample at a constant temperature, and a probe microscope.
SOLUTION: A temperature raising holder 11 comprises: a solution holding unit 13 including a hole 13a for holding a solution 41; a transparent member 15 provided on one surface of the solution holding unit 13 and constituting a bottom surface of the hole 13a; and electrodes 16a and 16b provided on a surface on the side opposite to the side on which the solution holding unit 13 of the transparent member 15 is arranged. A temperature of an observation solution 41 held in the hole 13a is raised by passing current to the electrodes 16a and 16b.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

プローブ顕微鏡は、プローブ(探針)を試料に対して走査することにより、凹凸などの試料表面の物理情報または試料の化学的性質を信号として取得することができる装置である。

プローブ顕微鏡には、例えば、原子間力顕微鏡(AFM)、走査型トンネル顕微鏡(STM)、走査型磁気力顕微鏡(MFM)、走査型電気容量顕微鏡(SCaM)、走査型近接場光顕微鏡(SNOM)、走査型熱顕微鏡(SThM)、走査型イオン電動顕微鏡(SICM)などがある。これらの走査型プローブ顕微鏡では、プローブまたは試料を水平方向(XY方向)と垂直方向(Z方向)に走査し、得られた試料の物理情報または化学的性質を順次表示することにより、試料の物理情報または化学的性質を動的に画像として表す(例えば、特許文献1参考)。

特許文献1に記載の走査型プローブ顕微鏡は、合成高分子の一本鎖の動態の観察が可能な高速走査型プローブ顕微鏡である。当該走査型プローブ顕微鏡では、溶液中に配置された試料の表面に探針を走査することにより観測試料の動態の観察を行っている。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、プローブ顕微鏡において、観測試料を昇温するための昇温ホルダに関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
溶液中で試料を計測するための前記溶液を昇温する昇温ホルダであって、
前記溶液を保持する穴部を有する溶液保持部と、
前記溶液保持部の片面に設けられ、前記穴部の底面を構成する透明部材と、
前記透明部材の前記溶液保持部が配置された側と反対側の面に設けられた電極とを備え、
前記電極に電流を流すことにより前記穴部に保持される前記溶液を昇温する
昇温ホルダ。

【請求項2】
 
前記昇温ホルダは、前記溶液保持部の前記透明部材が配置された側と反対側の面に、前記試料に対して相対的に走査される探針を支持する探針支持部を備え、
前記探針の先端は、前記透明部材が配置された側と反対側を向くように前記探針支持部に支持されている
請求項1に記載の昇温ホルダ。

【請求項3】
 
前記透明部材は、ITO(Indium Tin Oxide)膜を有する
請求項2に記載の昇温ホルダ。

【請求項4】
 
前記透明部材は、前記ITO膜と前記溶液保持部との間に透明の絶縁体を有する
請求項3に記載の昇温ホルダ。

【請求項5】
 
前記昇温ホルダは、前記溶液を供給する溶液供給部を備える
請求項1~4のいずれか1項に記載の昇温ホルダ。

【請求項6】
 
請求項1~5のいずれか1項に記載の昇温ホルダと、
前記試料に対して相対的に走査される探針と、
前記試料を保持する試料ホルダと、
前記試料ホルダを走査するスキャナと、
前記探針に所定の周波数の電圧を印加する発振器と、
前記所定の周波数に対応する周波数で変化する振幅信号を検出する振幅検出部と、
前記振幅信号に基づいて画像を生成する画像処理部と、
前記画像を表示する表示部とを備える
プローブ顕微鏡。

【請求項7】
 
前記昇温ホルダに保持されている前記溶液の温度を検出する温度センサ部と、
前記溶液の温度を所定の温度にするために前記昇温ホルダの温度を制御する温度制御部とを備える
請求項6に記載のプローブ顕微鏡。

【請求項8】
 
前記温度制御部は、前記溶液保持部の穴部に保持されている前記溶液の温度変化から前記溶液の蒸発量を計算し、
前記プローブ顕微鏡は、前記計算した蒸発量に基づいて、前記溶液供給部により前記溶液を前記溶液保持部の前記穴部に供給する
請求項5に従属する請求項6に記載のプローブ顕微鏡。
IPC(International Patent Classification)
Drawing

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JP2016233494thum.jpg
State of application right Published
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