Top > Search of Japanese Patents > MAGNETIC POLISHING DEVICE AND MAGNETIC POLISHING METHOD

MAGNETIC POLISHING DEVICE AND MAGNETIC POLISHING METHOD UPDATE_EN

Patent code P170014428
File No. S2016-0206-N0
Posted date Jul 13, 2017
Application number P2015-239787
Publication number P2017-104926A
Patent number P6601909
Date of filing Dec 8, 2015
Date of publication of application Jun 15, 2017
Date of registration Oct 18, 2019
Inventor
  • (In Japanese)鄒 艶華
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人宇都宮大学
Title MAGNETIC POLISHING DEVICE AND MAGNETIC POLISHING METHOD UPDATE_EN
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to polish a surface such as a plane and a curved surface, even in the case of a narrow space-forming surface like an inner surface of a superfine pore, by a magnetic polishing method.
SOLUTION: A magnetic polishing device on the embodiment comprises a first magnetic pole, a second magnetic pole, and a moving mechanism. The first magnetic pole is a magnetic pole for imparting first magnetic force to either a magnetic particle of sticking an abrasive grain having no magnetism or a magnetic abrasive grain being the abrasive grain having magnetism. The second magnetic pole is a magnetic pole arranged by sandwiching a polishing object in-between and imparting second magnetic force to either the magnetic particle or the magnetic abrasive grain. The moving mechanism polishes the polishing object with the abrasive grain having no magnetism or the magnetic abrasive grain by relatively moving the magnetic particle or the magnetic abrasive grain to the polishing object.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

従来、研磨法の1つとして磁気ブラシを用いた磁気研磨法が提案されている。磁気ブラシは、磁極に多数の磁性粒子を吸引させて構成されるブラシである。具体的には、磁気ブラシでは、磁力線に沿って繋がった磁性粒子がブラシの毛として機能する。そして、磁気ブラシの磁性粒子に研磨砥粒を付着させ、被研磨対象物に磁気ブラシを接触させた状態で磁気ブラシを回転又は移動させることによって、被研磨対象物の表面研磨を行うことができる。

また、磁極の上にトレーを設置し、磁性粒子、砥粒及び研磨液を混合して成る磁気研磨スラリをトレー内に入れた構成を有する磁気ブラシも提案されている(例えば、非特許文献1乃至5参照)。この磁気ブラシでは、磁気研磨スラリが流動性を有するため、磁気ブラシを柔軟に変形させることが可能である。更に、磁気ブラシを構成する磁極の極性を変動させることによって、磁気研磨スラリを磁力線の向きの変化方向に繰返し往復移動させる技術も提案されている。この変動磁場を与える磁気ブラシによれば、静磁場を与える磁気ブラシに比べて、被研磨対象物に接触させた後に元の状態に復帰させ易いという効果が得られる。

一方、磁性砥粒を磁極に吸引させることによってブラシの毛自体を砥粒で構成した磁気ブラシも提案されている(例えば、特許文献1参照)。

また、樹脂パイプの内面を研磨するような場合には、磁気ブラシを挿入することが困難となる。そこで、磁気研磨スラリを樹脂パイプの内側に配置する一方、樹脂パイプの外部に磁石を配置することによって磁気研磨を行う方法も提案されている(例えば、特許文献2参照)。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明の実施形態は、磁気研磨装置及び磁気研磨方法に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に第1の磁力を与えるための第1の磁極であって、極性がN極とS極との間で変動する第1の磁極と、
被研磨物体を間に挟んで配置され、前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるための第2の磁極であって、変動しない極性を有する第2の磁極と、
前記第1の磁極に設けられた容器と、
前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させることによって前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行う移動機構と、
を備え
前記移動機構は、前記第1の磁極の極性をN極とS極との間で変動させる制御回路を有し、前記制御回路で前記第1の磁極の極性を変動させることによって、前記容器内の研磨液と混合された前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を、前記第1の磁極と前記第2の磁極との間に形成される磁力線に沿う方向に振動させるように構成される磁気研磨装置。

【請求項2】
 
前記移動機構は、前記第1の磁極を回転させる回転機構を有し、前記第1の磁極を回転させることによって前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を前記第1の磁極の回転方向に回転させるように構成される請求項1記載の磁気研磨装置。

【請求項3】
 
前記第1の磁極は、前記第2の磁極側における先端の形状が凸面となっている柱状の磁極であって、中心軸上を通らない溝及び中心軸上でない位置に形成される凹みの少なくとも一方を有する柱状の磁極である請求項1又は2記載の磁気研磨装置。

【請求項4】
 
磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に、極性がN極とS極との間で変動する第1の磁極から第1の磁力を与える一方、被研磨物体を間に挟んで配置された、変動しない極性を有する第2の磁極から前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるステップと、
前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させ、前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行うことによって被研磨品を製造するステップと、
を有し、
前記第1の磁極の極性を変動させることによって、前記第1の磁極に設けられた容器内の研磨液と混合された前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を、前記第1の磁極と前記第2の磁極との間に形成される磁力線に沿う方向に振動させる磁気研磨方法。

【請求項5】
 
前記被研磨物体に形成される孔の内面、スリットの内面又は溝の内面を研磨することによって前記被研磨品を製造する請求項4記載の磁気研磨方法。

【請求項6】
 
前記第1の磁極の極性をN極とS極との間で繰返し交互に変動させることによって前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を前記孔、前記スリット又は前記溝の内部に導くようにした請求項5記載の磁気研磨方法。

【請求項7】
 
モリブテン合金又はタングステン合金から成る前記被研磨物体を研磨することによって前記被研磨品を製造する請求項4乃至6のいずれか1項に記載の磁気研磨方法。
IPC(International Patent Classification)
F-term
  • 3C158AA07
  • 3C158AA09
  • 3C158CA04
  • 3C158CB04
  • 3C158CB07
  • 3C158DA02
  • 3C158DA11
Drawing

※Click image to enlarge.

JP2015239787thum.jpg
State of application right Registered
(In Japanese)ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記までご連絡ください


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close