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THREE-DIMENSIONAL COMB TYPE ELECTRODE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF meetings

Patent code P180014913
File No. 1961
Posted date Apr 26, 2018
Application number P2017-166904
Publication number P2019-045244A
Date of filing Aug 31, 2017
Date of publication of application Mar 22, 2019
Inventor
  • (In Japanese)杉目 恒志
  • (In Japanese)野田 優
  • (In Japanese)大野 雄高
  • (In Japanese)牛山 拓也
Applicant
  • (In Japanese)学校法人早稲田大学
  • (In Japanese)国立大学法人名古屋大学
Title THREE-DIMENSIONAL COMB TYPE ELECTRODE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF meetings
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a three-dimensional comb type electrode having high density CNT (carbon nanotube) forests on a comb type metal electrode and cable of electrochemically detecting an analysis object with high sensitivity and also to provide a manufacturing method thereof.
SOLUTION: Disclosed is a three-dimensional comb type electrode 1 which is applicable to a biosensor. This electrode has a structure in which a first comb type metal electrode 2 and a second comb type metal electrode 3 are alternatively arrayed on a substrate and includes a high density CNT forests which are arrayed substantially perpendicular to the surface of the first and second comb type metal electrodes 2, 3.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

電気化学に基づくラベルフリーの検出手法と、レドックスサイクルとを利用した櫛型電極は、バイオセンサへの応用を目的として多くの研究が行われている。従来、櫛型電極の材料は金属であった。これに対し、金属に代替する電極材料として、広い電位窓および高速な電子交換を特徴とするカーボン材料が検討されている。例えば非特許文献1では、レジストの熱分解カーボンを用いた櫛型電極が提案されている。一方、非特許文献2および非特許文献3では、化学気相(CVD)法により、Moを含む金属上にCNTを450℃程度の低温プロセスで直接成長させ、高密度のCNTフォレストを形成する方法が提案されている。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、CNT(カーボンナノチューブ)フォレストを使用した立体型櫛型電極およびその製造方法に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
基板上に第1櫛型金属電極と第2櫛型金属電極が交互に配列した構造を有し、前記第1および第2櫛型金属電極の表面に対して略垂直に配列した高密度のCNT(カーボンナノチューブ)フォレストを備えた立体型櫛型電極。

【請求項2】
 
前記CNTフォレストの密度が、0.5g cm-3以上である請求項1に記載の立体型櫛型電極。

【請求項3】
 
前記第1櫛型金属電極および前記第2櫛型金属電極が、C、Co、Ni、Fe、Mo、W、Nb、Ti、TiN、Au、PtまたはCuのうち1以上を含む金属層を有する請求項1または2に記載の立体型櫛型電極。

【請求項4】
 
前記基板が、アルカリガラス、無アルカリガラスのいずれかである請求項1~3のいずれか1項に記載の立体型櫛型電極。

【請求項5】
 
請求項1~4のいずれか1項に記載の立体型櫛型電極を備えたバイオセンサ。

【請求項6】
 
基板上に配置された櫛型金属電極上に、CVD法によりCNT(カーボンナノチューブ)フォレストを形成する立体型櫛型電極の製造方法。
IPC(International Patent Classification)
Drawing

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JP2017166904thum.jpg
State of application right Published
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