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機械要素部品の表面改善方法 NEW コモンズ

国内特許コード P180015220
整理番号 2017000348
掲載日 2018年8月7日
出願番号 特願平11-026143
公開番号 特開2000-218445
登録番号 特許第2995300号
出願日 平成11年2月3日(1999.2.3)
公開日 平成12年8月8日(2000.8.8)
登録日 平成11年10月29日(1999.10.29)
発明者
  • 廣瀬 伸吾
  • 森 和男
出願人
  • 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 機械要素部品の表面改善方法 NEW コモンズ
発明の概要 【課題】 表面の劣化部や欠損部、並びに表面荒れや表面粗さの等の表面欠陥を、いずれも高精度に改善することのできる表面改善方法を提供することを解決課題とする。
【解決手段】 本発明では、工具(10)を反応室(21)に配置した後、基準表面(13)での結晶の成長が最小となる条件で前記反応室(21)に気相原料を間欠的に供給し、前記工具(10)に原子層成長法を施す。
従来技術、競合技術の概要 工具やベアリング等の機械要素部品においては、その構造上、長期の使用に伴って摩耗等の劣化や変形・欠損といった各種表面欠陥を生じる。表面欠陥を生じた機械要素部品は、その機能や性能が著しく低下するようになる。このため、このような機械要素部品を継続的に用いた場合には、所望の機能や性能を期待することができない。

従来、こうした機械要素部品の表面欠陥に対しては、新たな部品との交換という方法でこれに対処するようにしている。

しかしながら、新たな部品と交換するためには、予め多数の機械要素部品を用意しておかなければならず、この機械要素部品を適用する機械のランニングコストを著しく増加させる。

したがって、ランニングコストの低減を図ることのできる対処法の開発が望まれている。

一方、昨今の機械要素部品においては、その高機能化および微細化が進んでおり、表面品質に対する要求精度も厳しいものとなっている。このため、機械要素部品の表面粗さや表面荒れ等の表面欠陥に対しては、原子1層、あるいは原子1個のレベルでこれを改善できる技術の開発が望まれている。
産業上の利用分野 本発明は、工具やベアリング等の機械要素部品の基準表面に存在する欠損部や劣化部、あるいは表面荒れや表面粗さの等の表面欠陥を改善するための方法に関するものである。
特許請求の範囲 【請求項1】
機械要素部品の基準表面に存在する表面欠陥を改善するための方法であって、前記機械要素部品を所定の反応室に配置する工程と、前記基準表面での結晶の成長が最小となる条件で前記機械要素部品に原子層成長法を施すべく前記反応室に気相原料を間欠的に供給する工程とを含むことを特徴とする機械要素部品の表面改善方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
参考情報 (研究プロジェクト等) 産総研製造技術研究部門積層加工システム研究グループ
ライセンス等を御希望の方又は特許の内容に興味を持たれた方は,下記「問合せ先」まで直接お問い合わせくださいますよう,お願い申し上げます。


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