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圧電体膜の製造方法 (未公開特許出願) NEW

国内特許コード P180015256
整理番号 S2018-0202-N0
掲載日 2018年9月3日
出願番号 特願2018-002009
出願日 平成30年1月10日(2018.1.10)
発明者
  • 舟窪 浩
  • 舘山 明紀
  • 伊東 良晴
  • 清水 荘雄
  • 折野 裕一郎
  • 黒澤 実
出願人
  • 東京工業大学
  • 学校法人上智学院
  • 東北大学
  • 山梨大学
発明の名称 圧電体膜の製造方法 (未公開特許出願) NEW
発明の概要 低温製膜できる水熱合成法を用い、優れた圧電特性を有するニオブ/タンタル酸アルカリ系圧電体膜をより厚く製膜でき、生産性に優れたニオブ/タンタル酸アルカリ系圧電体膜の製造方法
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