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劣化検知センサ付き軸受 コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P180015260
整理番号 226-01180
掲載日 2018年9月18日
出願番号 特願2001-256865
公開番号 特開2003-065329
登録番号 特許第3834612号
出願日 平成13年8月27日(2001.8.27)
公開日 平成15年3月5日(2003.3.5)
登録日 平成18年8月4日(2006.8.4)
発明者
  • 廣瀬 伸吾
  • 碓井 雄一
  • 是永 敦
  • 間野 大樹
  • 森 和男
出願人
  • 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 劣化検知センサ付き軸受 コモンズ 新技術説明会
発明の概要 【課題】 本発明は、 本発明は、センサ機能を軸受に付加させて軸受動作中に軸受自身が劣化状況を提示できるようにすることにより、劣化現象を正確に把握することを目的とする。
【解決手段】 本発明による本発明の劣化検知センサ付き軸受は、軸受の転動体が接触する軌道面上に、非導電性材料と導電性材料を積層して形成したセンサ薄膜を設けたことを特徴とする。また、本発明の劣化検知センサ付き軸受は、センサ薄膜の導電性材料に付随して設けた複数の電極に電気抵抗測定器を接続したことを特徴とする。また、本発明の劣化検知センサ付き軸受は、センサ薄膜をスパッタリングにより形成したことを特徴とする。
従来技術、競合技術の概要


従来の軸受は、高炭素鋼が主に使われており、一部、窒化物Si3N4を母材として使用している。また、あまり実用化されていないが、薄膜を軸受にコーティングさせることにより軸受本来の機能を付加させることが試みられている。例えば、一部の製品において、メッキや物理気相堆積法(PVD)、化学気相堆積法(CVD)等の薄膜堆積法を用いて、摩耗に対する強度を増すためにDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の硬質材料を堆積させたり、錆止めとしてスズをメッキさせたりしている。



また、電車の主電動機用軸受のように電食の発生を防ぐために絶縁樹脂やセラミックを軸受外部にコーティングさせたもの、あるいは半導体製造装置などの真空中での軸受からの出ガスを防ぐために転動体に銀コーティングを施しているものがある。



さらに、振動、音・アコースティックエミッションなどの間接的な手法を適用して軸受の損耗状況を計測しようとする試みはあるが、軸受の動作中において軸受軌道面を直接に観察して損耗度合いなどの情報を得ることは大変困難であった。

産業上の利用分野


本発明は、自動車、ロボット、工作機械、電気機器、半導体製造分野等、軸受を用いたすべての分野に利用可能な摩耗及びはく離等による劣化を検知する劣化検知センサ付き軸受に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
軸受の転動体が接触する軌道面上に、非導電性材料と導電性材料を積層して形成したセンサ薄膜を設けたことを特徴とする劣化検知センサ付き軸受。

【請求項2】
センサ薄膜の導電性材料に付随して設けた複数の電極に電気抵抗測定器を接続したことを特徴とする請求項1記載の劣化検知センサ付き軸受。

【請求項3】
センサ薄膜をスパッタリングにより形成したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の劣化検知センサ付き軸受。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2001256865thum.jpg
出願権利状態 登録
参考情報 (研究プロジェクト等) 産総研製造技術研究部門積層加工システム研究グループ
ライセンス等を御希望の方又は特許の内容に興味を持たれた方は,下記「問合せ先」まで直接お問い合わせくださいますよう,お願い申し上げます。


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