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BEARING HAVING DETERIORATION DETECTING SENSOR meetings

Patent code P180015260
File No. 226-01180
Posted date Sep 18, 2018
Application number P2001-256865
Publication number P2003-065329A
Patent number P3834612
Date of filing Aug 27, 2001
Date of publication of application Mar 5, 2003
Date of registration Aug 4, 2006
Inventor
  • (In Japanese)廣瀬 伸吾
  • (In Japanese)碓井 雄一
  • (In Japanese)是永 敦
  • (In Japanese)間野 大樹
  • (In Japanese)森 和男
Applicant
  • (In Japanese)国立研究開発法人産業技術総合研究所
Title BEARING HAVING DETERIORATION DETECTING SENSOR meetings
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately grasp a deterioration phenomenon by letting a bearing itself display a deteriorated situation during its operation by adding a sensor function to the bearing.
SOLUTION: The bearing having a deterioration detecting sensor is provided with a sensor thin film formed by laminating non-conductive substance and conductive substance on a raceway surface brought into contact with rolling elements of the bearing. Further, the bearing having a deterioration detecting sensor is provided with an electric resistance measuring instrument connected to a plurality of electrodes attached to the conductive substance of the sensor thin film. Further, the bearing having a deterioration detecting sensor has the sensor thin film formed by spattering.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

従来の軸受は、高炭素鋼が主に使われており、一部、窒化物Si3N4を母材として使用している。また、あまり実用化されていないが、薄膜を軸受にコーティングさせることにより軸受本来の機能を付加させることが試みられている。例えば、一部の製品において、メッキや物理気相堆積法(PVD)、化学気相堆積法(CVD)等の薄膜堆積法を用いて、摩耗に対する強度を増すためにDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の硬質材料を堆積させたり、錆止めとしてスズをメッキさせたりしている。

また、電車の主電動機用軸受のように電食の発生を防ぐために絶縁樹脂やセラミックを軸受外部にコーティングさせたもの、あるいは半導体製造装置などの真空中での軸受からの出ガスを防ぐために転動体に銀コーティングを施しているものがある。

さらに、振動、音・アコースティックエミッションなどの間接的な手法を適用して軸受の損耗状況を計測しようとする試みはあるが、軸受の動作中において軸受軌道面を直接に観察して損耗度合いなどの情報を得ることは大変困難であった。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、自動車、ロボット、工作機械、電気機器、半導体製造分野等、軸受を用いたすべての分野に利用可能な摩耗及びはく離等による劣化を検知する劣化検知センサ付き軸受に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
軸受の転動体が接触する軌道面上に、非導電性材料と導電性材料を積層して形成したセンサ薄膜を設けたことを特徴とする劣化検知センサ付き軸受。

【請求項2】
 
センサ薄膜の導電性材料に付随して設けた複数の電極に電気抵抗測定器を接続したことを特徴とする請求項1記載の劣化検知センサ付き軸受。

【請求項3】
 
センサ薄膜をスパッタリングにより形成したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の劣化検知センサ付き軸受。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2001256865thum.jpg
State of application right Registered
Reference ( R and D project ) (In Japanese)産総研製造技術研究部門積層加工システム研究グループ
(In Japanese)ライセンス等を御希望の方又は特許の内容に興味を持たれた方は,下記「問合せ先」まで直接お問い合わせくださいますよう,お願い申し上げます。


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