TOP > 国内特許検索 > 微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置

微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置 NEW

国内特許コード P180015289
整理番号 S2017-0172-N0
掲載日 2018年9月21日
出願番号 特願2016-244003
公開番号 特開2018-097284
出願日 平成28年12月16日(2016.12.16)
公開日 平成30年6月21日(2018.6.21)
発明者
  • 杉坂 純一郎
  • 安井 崇
  • 平山 浩一
出願人
  • 国立大学法人北見工業大学
発明の名称 微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置 NEW
発明の概要 【課題】所望の微細光学像を容易に生成できる微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置を提供する。
【解決手段】微細光学像生成素子100は、準結晶パターンを同一平面上で少なくとも二つ以上組み合わせた配置パターンに基づいて複数の開口部140が配置された微細構造部120を備える。微細構造部120は、レーザ光を遮断する遮光膜130と、遮光膜130に設けられ、レーザ光が通過可能な複数の開口部140と、を備える。準結晶パターンは、例えば、準結晶の格子構造の一つであるペンローズタイルの格子点からなるパターンである。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要


半導体の微細回路を製造するための加工技術としてフォトリソグラフィが知られている。フォトリソグラフィは、フォトマスクに形成した回路パターンを、感光材料(フォトレジスト)を塗布した基板上に投影することにより、基板上に回路パターンを転写する技術である。例えば、特許文献1には、マスクに形成された回路パターンの像を基板上に投影する投影光学系を備える投影露光装置が開示されている。

産業上の利用分野


本発明は、微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
準結晶パターンを同一平面上で少なくとも二つ以上組み合わせた配置パターンに基づいて複数の凹部、凸部、又は開口部が配置された微細構造部を備える微細光学像生成素子。

【請求項2】
前記微細構造部は、電磁波を遮断する膜と、当該膜に設けられ、電磁波が通過可能な複数の開口部と、を備える、
請求項1に記載の微細光学像生成素子。

【請求項3】
前記膜を支持しており、電磁波を透過可能な基板を備える、
請求項2に記載の微細光学像生成素子。

【請求項4】
前記微細構造部は、基板の表面に当該基板と一体に形成された複数の凹部又は凸部である、
請求項1に記載の微細光学像生成素子。

【請求項5】
前記微細構造部を支持しており、電磁波を透過可能な基板を備え、
前記微細構造部は、前記基板の表面に設けられ、電磁波を遮断する複数の凸部である、
請求項1に記載の微細光学像生成素子。

【請求項6】
前記準結晶パターンは、ペンローズタイルの格子点からなるパターンである、
請求項1から5のいずれか1項に記載の微細光学像生成素子。

【請求項7】
それぞれの前記準結晶パターンは、前記準結晶パターンの中心点の位置、前記準結晶パターンの中心点を通って前記準結晶パターンに垂直な軸周りの回転角、又は前記準結晶パターンの格子定数の少なくとも1つが異なっている、
請求項1から6のいずれか1項に記載の微細光学像生成素子。

【請求項8】
前記準結晶パターンは、前記準結晶パターンの元となる準結晶の格子構造の格子点に部分的に設けられている、
請求項1から7のいずれか1項に記載の微細光学像生成素子。

【請求項9】
前記準結晶パターンは、互いの中心点が一致するようにフレネルゾーンプレートが重ねられたとき、前記フレネルゾーンプレートの暗輪帯に重なる格子点を除去したパターンである、
請求項8に記載の微細光学像生成素子。

【請求項10】
電磁波を照射する電磁波照射手段と、
前記電磁波照射手段からの電磁波を透過又は反射することにより微細光学像を生成する請求項1から9のいずれか1項に記載の微細光学像生成素子と、
を備える微細光学像生成装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
  • 2H195BA12
  • 2H195BB08
  • 2H195BB09
  • 2H195BB10
  • 2H195BB16
  • 2H195BB25
  • 2H195BB35
  • 2H195BC05
  • 2H197AA50
  • 2H197BA11
  • 2H197CA01
  • 2H197CA03
  • 2H197CA07
  • 2H197CA10
  • 2H197HA03
  • 2H197JA05
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2016244003thum.jpg
出願権利状態 公開


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close