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POROUS STATIC PRESSURE AIR BEARING AND ITS PROCESS OF MANUFACTURE meetings

Patent code P180015345
File No. T2017-121
Posted date Oct 17, 2018
Application number P2018-085277
Publication number P2019-190591A
Date of filing Apr 26, 2018
Date of publication of application Oct 31, 2019
Inventor
  • (In Japanese)宮武 正明
  • (In Japanese)貞弘 稜
  • (In Japanese)中山 将太
Applicant
  • (In Japanese)学校法人東京理科大学
Title POROUS STATIC PRESSURE AIR BEARING AND ITS PROCESS OF MANUFACTURE meetings
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To restrict increasing of manufacturing cost.
SOLUTION: A porous static pressure air bearing 10 is made of metallic material and has a porous layer supporting part 12 having a plurality of first flow holes 24 through which air flows from one side toward the other side. In addition, the porous static pressure air bearing 10 is formed by metallic material and has a porous layer 14 formed integrally with the porous layer supporting part 12 along the other side surface of the porous layer supporting part 12. The porous layer 14 has a plurality of second flow holes 32 into which air from the first flow holes 24 is introduced 24 and air flows out from a surface opposite to the porous layer supporting part 12. A shaft 34 is supported by air flowed out of the second flow holes 32.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

下記特許文献1には、静圧軸受として用いられるハニカムサンドイッチ構造体が開示されている。このハニカムサンドイッチ構造体は、平均粒径100マイクロメートルのSiC粉末100重量部とアクリルバインダー100質量部及びエタノール20質量部を混練した接合材を、静圧軸受け形状に切り出した2枚の多孔質カーボン平板のハニカム構造体との接合面に塗布し、その2枚の塗布面の間にSiCハニカム構造体を配置することで構成されている。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、多孔質静圧空気軸受及びその製造方法に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
金属材料を用いて形成され、一方側から他方側へ向けて空気が流れる複数の第1流通部を有する支持部と、
金属材料を用いて形成され、前記支持部の他方側の面に沿って前記支持部と一体に形成され、前記第1流通部からの空気が導入されると共にこの空気が前記支持部とは反対側の面から流出する複数の第2流通部を有し、この第2流通部から流出した空気によって軸部材が支持される多孔質層と、
を備えた多孔質静圧空気軸受。

【請求項2】
 
前記多孔質層をその厚み方向から見て、前記多孔質層の中心部側の前記第2流通部を介した空気の通り易さと外周部側の前記第2流通部を介した空気の通り易さとが異なっている請求項1記載の多孔質静圧空気軸受。

【請求項3】
 
前記多孔質層の外周部側の前記第2流通部を介した空気の通り易さが、中心部側よりも通り易くなっている請求項2記載の多孔質静圧空気軸受。

【請求項4】
 
前記多孔質層の中心部側の前記第2流通部を介した空気の通り易さが、外周部側よりも通り易くなっている請求項2記載の多孔質静圧空気軸受。

【請求項5】
 
前記支持部と前記多孔質層とが、同じ金属材料を用いて形成されている請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の多孔質静圧空気軸受。

【請求項6】
 
金属材料を用いて形成され、一方側から他方側へ向けて空気が流れる複数の第1流通部を有する支持部と、
金属材料を用いて形成され、前記支持部の他方側の面に沿って前記支持部と一体に形成され、前記第1流通部からの空気が導入されると共にこの空気が前記支持部とは反対側の面から流出する複数の第2流通部を有し、この第2流通部から流出した空気によって軸部材が支持される多孔質層と、
を備えた多孔質静圧空気軸受の製造方法に適用され、
金属粉末にレーザを照射することで、前記支持部を形成する支持部形成工程と、
金属粉末にレーザを照射することで、前記支持部の他方側の面に沿って前記多孔質層を形成する多孔質層形成工程と、
を有する多孔質静圧空気軸受の製造方法。

【請求項7】
 
単位体積当たりの前記金属粉末に投入される前記レーザのエネルギをエネルギ密度E(J/mm2)とし、
前記多孔質層形成工程においてエネルギ密度Eを調節することで、前記多孔質層の前記第2流通部を介した空気の通り易さを調節する請求項6記載の多孔質静圧空気軸受の製造方法。

【請求項8】
 
ステンレス鋼の前記金属粉末を用い、
前記多孔質層形成工程において前記エネルギ密度Eを28.125J/mm2以下に設定する請求項7記載の多孔質静圧空気軸受の製造方法。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2018085277thum.jpg
State of application right Published
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