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X線回折測定装置及びX線回折測定方法 NEW

国内特許コード P180015482
整理番号 4781
掲載日 2018年11月21日
出願番号 特願2017-508258
出願日 平成28年3月15日(2016.3.15)
国際出願番号 JP2016058151
国際公開番号 WO2016152654
国際出願日 平成28年3月15日(2016.3.15)
国際公開日 平成28年9月29日(2016.9.29)
優先権データ
  • 特願2015-061574 (2015.3.24) JP
発明者
  • 河口 智也
  • 松原 英一郎
  • 福田 勝利
出願人
  • 国立大学法人京都大学
発明の名称 X線回折測定装置及びX線回折測定方法 NEW
発明の概要 試料を所望の形状でX線回折測定を行うことができ、且つその測定精度を向上させることができるX線回折測定装置及びX線回折測定方法を提供する。X線回折測定装置1は、所定の第1回転軸C1回りに回転することで試料10を所定平面内で回転させる試料回転部22と、回転中の試料10に対してX線を照射するX線源3と、X線の光軸C0に対して直交した第2回転軸C2を中心とする円弧軌跡f上を移動することで試料10を透過して回折した回折X線12を検出する回折X線検出部4と、光軸C0と第2回転軸C2とを含む仮想平面において、試料10を中心として、第1回転軸C1を光軸C0に対して所定の鋭角度θで相対的に傾斜させる軸傾斜機構5とを備える。
従来技術、競合技術の概要


試料の結晶構造、異物及び欠陥などの分析を行う分析手法として、多結晶体の試料にX線を照射し、その試料からの散乱(回折)X線を観測するX線回折測定が知られている。このようなX線回折測定には、試料を封入した状態で回転するガラスキャピラリーに対してその回転軸と直交する方向からX線を照射し、試料を透過して回折したX線を回折X線検出部により観測する測定方法や、回転台上に載置された状態で回転する試料にX線を照射し、試料から反射して回折したX線を回折X線検出部により観測する測定方法などがある(例えば、特許文献1参照)。

産業上の利用分野


本発明は、X線回折測定装置及びX線回折測定方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
所定の第1回転軸回りに回転することで、試料を所定平面内で回転させる試料回転部と、
前記試料回転部により回転する前記試料に対してX線を照射するX線源と、
X線の光軸に対して直交した第2回転軸を中心とする円弧軌跡上を移動することで、前記試料を透過して回折した回折X線を検出する回折X線検出部と、
前記光軸と前記第2回転軸とを含む仮想平面において、前記試料回転部により回転する前記試料を中心として、前記第1回転軸を前記光軸に対して所定の鋭角度で相対的に傾斜させる軸傾斜機構と、
を備えることを特徴とするX線回折測定装置。

【請求項2】
前記軸傾斜機構は、前記鋭角度を調整可能である請求項1に記載のX線回折測定装置。

【請求項3】
前記鋭角度は、15~20°の角度範囲に設定されている請求項1又は2に記載のX線回折測定装置。

【請求項4】
前記試料は錠剤形状とされている請求項1~3のいずれか一項に記載のX線回折測定装置。

【請求項5】
試料回転部が、所定の第1回転軸回りに回転することで、試料を所定平面内で回転させる回転工程と、
X線源が、前記試料回転部により回転する前記試料に対してX線を照射する照射工程と、
回折X線検出部が、X線の光軸に対して直交した第2回転軸を中心とする円弧軌跡上を移動することで、前記試料を透過して回折した回折X線を検出する検出工程と、
軸傾斜機構が、前記光軸と前記第2回転軸とを含む仮想平面において、前記試料回転部により回転する前記試料を中心として、前記第1回転軸を前記光軸に対して所定の鋭角度で相対的に傾斜させる軸傾斜工程と、
を含むことを特徴とするX線回折測定方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2017508258thum.jpg
出願権利状態 公開
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