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FOREIGN MATTER DETECTION DEVICE AND FOREIGN MATTER DETECTION METHOD

Patent code P180015535
File No. 4647
Posted date Nov 21, 2018
Application number P2014-206655
Publication number P2016-075596A
Patent number P6370662
Date of filing Oct 7, 2014
Date of publication of application May 12, 2016
Date of registration Jul 20, 2018
Inventor
  • (In Japanese)小川 雄一
  • (In Japanese)内藤 啓貴
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人京都大学
Title FOREIGN MATTER DETECTION DEVICE AND FOREIGN MATTER DETECTION METHOD
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a foreign matter detection device and a foreign matter detection method capable of properly detecting a foreign matter mixed into a particle group including particles.
SOLUTION: A foreign matter detection device 3 detects the presence or absence of a foreign matter F in a particle group P including the large number of particles mounted on an upper surface 6a1 of a conveyance part 6a to be conveyed. The foreign matter detection device 3 includes an electromagnetic wave irradiation part 10 for irradiating an electromagnetic wave having a wavelength equal to or longer than an average particle size of the particle toward the particle group P from above the conveyance part 6a; a detection part 11 arranged below the conveyance part 6a and detecting the electromagnetic wave having passed the particle group P and the conveyance part 6a; and a control part 12 as a determination part for determining the presence or absence of the foreign matter F in the particle group P on the basis of a change appeared in the output of the detection part 11 during the conveyance of the particle group P. The detection part 11 includes a detection element 16 which is a detection element capable of detecting the electromagnetic wave, and is set to a value in which a distance between a detection surface 16a of the detection element 16 and the upper surface 6a1 of the conveyance part 6a is equal to or shorter than the wavelength of the electromagnetic wave irradiated by the electromagnetic wave irradiation part 10.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

近年、製品の検査ライン等においては、CCDカメラ等の撮像手段によって検査対象を撮像し、その外観画像に基づいて検査対象に生じる異常等を検出することが行われている(例えば、特許文献1参照)。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、多数の粒子を含む粒子群の中に混入する異物を検出するための異物検出装置、及び異物検出方法に関するものである。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
搬送部材の上面に載置されて搬送される、多数の粒子を含む粒子群の中の異物の有無を検出する異物検出装置であって、
前記搬送部材の上方から前記粒子群に向けて前記粒子の平均粒径と同等又は当該平均粒径よりも長い波長の電磁波を照射する照射部と、
前記搬送部材の下方に配置され、前記粒子群及び前記搬送部材を通過した電磁波を検出する検出部と、
前記粒子群の搬送中に前記検出部の検出値に現れる変化に基づいて、前記粒子群の中の異物の有無を判定する判定部と、を備え、
前記検出部は、前記電磁波を検出可能な検出素子を備え、前記検出素子の検出面と、前記搬送部材の上面との間の距離が前記電磁波の波長と同等又は当該波長よりも短い値に設定されている異物検出装置。

【請求項2】
 
前記検出部は、前記検出素子を前記搬送部材の搬送方向に交差する幅方向にそれぞれ複数個配列することで構成され、
複数の前記検出素子は、前記電磁波の波長よりも短いピッチで前記幅方向に配列されている請求項1に記載の異物検出装置。

【請求項3】
 
前記検出素子は、パッチアンテナであり、
前記検出素子は、共振周波数が前記電磁波の周波数となるように設定したときの当該検出素子の大きさよりも小さい大きさとなるように形成されている請求項1又は2に記載の異物検出装置。

【請求項4】
 
前記検出部は、前記検出素子を前記搬送部材の搬送方向に複数個配列することで構成され、
前記判定部は、前記検出部の検出値に現れる変化が前記搬送方向に続けて現れることにより、前記異物があると判定する請求項1~3のいずれか一項に記載の異物検出装置。

【請求項5】
 
前記電磁波の波長は、10mmから300μmに設定される請求項1~4のいずれか一項に記載の異物検出装置。

【請求項6】
 
搬送部材の上面に多数の粒子を含む粒子群を載置して搬送するステップと、
前記搬送部材の上方から前記粒子群に向けて前記粒子の平均粒径と同等又は当該平均粒径よりも長い波長の電磁波を照射するステップと、
前記搬送部材の下方に配置された検出部によって、前記粒子群及び前記搬送部材を通過した電磁波を検出するステップと、
前記粒子群の搬送中に前記検出部の検出値に現れる変化に基づいて、前記粒子群の中の異物の有無を判定するステップと、を含み、
前記搬送部材の下方に配置された検出部によって、前記粒子群及び前記搬送部材を通過した電磁波を検出するステップは、前記検出部が備える前記電磁波を検出可能な検出素子の検出面と、前記搬送部材の上面との間の距離が前記電磁波の波長と同等又は当該波長よりも短い値に設定されている異物検出方法。
IPC(International Patent Classification)
F-term
  • 2G105AA01
  • 2G105BB15
  • 2G105CC03
  • 2G105DD02
  • 2G105EE06
  • 2G105HH05
Drawing

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JP2014206655thum.jpg
State of application right Registered
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