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ELECTROSTATIC DRIVING VARIABLE MIRROR

Patent code P180015553
File No. 4338
Posted date Nov 21, 2018
Application number P2014-036315
Publication number P2015-161765A
Patent number P6339381
Date of filing Feb 27, 2014
Date of publication of application Sep 7, 2015
Date of registration May 18, 2018
Inventor
  • (In Japanese)土屋 智由
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人京都大学
Title ELECTROSTATIC DRIVING VARIABLE MIRROR
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic driving variable mirror that allows even a low driving voltage to increase an amount of deformation of a reflection surface.
SOLUTION: A plurality of variable parts 24 with an electrode 25 is connected to a rear surface 30x of a mirror 12 with a reflection surface 34s via a connection part 28, where an interval between the mirror 12 and the variable part 24 is maintained. The variable part 24 is fixed to a fixing part 22 via support parts 26a and 26b, and is held movably in a contacting or separating direction. When applying a voltage to the electrode 25, the mirror 12 tilts to de deformed. In this case, in response to deformation of the mirror 12, the movable part 24 is moved in the contacting or separating direction, which in turn makes an interval between the electrode 25 and the mirror 12 always small to thereby enable increase in electrostatic driving power.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

眼底観察や天体観測などにおいて高精細な画像を得るために、波面補償ミラーが用いられている。波面補償ミラーは、反射面の形状を変形させることによって、入射光の持つ波面のずれを反射時に補正する。

例えば図19の断面図に示す静電駆動可変ミラーは、反射膜115とは反対側に複数個の電極116a~116eが配置され、電極116a~116eに印加する電圧を電圧制御回路120によって制御することによって、反射膜115を変形させる(例えば、特許文献1参照)。

また、撮影装置における像振れ補正を行うための手段として、例えば図20の説明図に示す可変ミラー111が提案されている。この可変ミラー111は、反射部204を有する上部基板201が、下部基板201のピボット261によって一点で支持され、バネ251~254を介して連結されている。上部基板201に形成された上部電極202と下部基板201に形成された複数の下部電極222~225との間の電位差を調整し、上部電極203と下部電極222~225との間の静電力によって上部基板201の傾斜方向と傾斜角を変えることができる(例えば、特許文献2参照)。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、静電駆動可変ミラーに関し、詳しくは、静電力で反射面の形状を変化させる静電駆動可変ミラーに関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
反射面と前記反射面とは反対側の裏面とを有するミラーと、
前記ミラーの前記裏面との間に間隔を設けて前記裏面に対向し、前記裏面に対向する電極を有する可動部と、
前記可動部を、前記ミラーに対して接離する方向に移動可能に保持する固定部と、
前記ミラーと前記可動部との間に配置され、前記ミラーと前記可動部との少なくとも一方に固定され、前記ミラーと前記可動部の間隔を保つ接続部と、
を備え
前記電極と前記ミラーとの間の電位差によって静電力が生じ、前記静電力によって前記ミラーが前記可動部に対して傾き、前記ミラーの傾きに伴って前記可動部が移動するように構成されたことを特徴とする、静電駆動可変ミラー。

【請求項2】
 
前記固定部は、前記可動部との間に間隔を設けて前記可動部を収容し、
記可動部が前記ミラーに対して接離する前記方向に互いに間隔を設けて配置され、前記可動部と前記固定部とに接続された第1及び第2の梁部をさらに備えたことを特徴とする、請求項1に記載の静電駆動可変ミラー。

【請求項3】
 
前記接続部が、前記ミラーと前記可動部との両方に固定されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の静電駆動可変ミラー。

【請求項4】
 
前記接続部は、前記ミラーと前記可動部とのうち一方のみに固定され、
前記可動部と前記固定部とを接続し、前記可動部を前記ミラー側に付勢し、前記ミラーと前記可動部とのうち他方と前記接続部との接触を保持する支持部をさらに備えたことを特徴とする、請求項1または2に記載の静電駆動可変ミラー。

【請求項5】
 
一つの前記ミラーと、
複数の前記可動部と、
複数の前記接続部と、
を備えたことを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一つに記載の静電駆動可変ミラー。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2014036315thum.jpg
State of application right Registered
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