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レーザー加工方法 NEW 外国出願あり

国内特許コード P180015612
整理番号 5573
掲載日 2018年11月22日
出願番号 特願2016-206869
公開番号 特開2018-065188
出願日 平成28年10月21日(2016.10.21)
公開日 平成30年4月26日(2018.4.26)
発明者
  • 益田 紀彰
  • 三浦 清貴
  • 下間 靖彦
  • 坂倉 政明
出願人
  • 日本電気硝子株式会社
  • 国立大学法人京都大学
発明の名称 レーザー加工方法 NEW 外国出願あり
発明の概要 【課題】透明部材の熱変性領域やその周辺にひずみや割れが発生する原因となる、熱変性領域の周期的な構造の乱れを抑制し得るレーザー加工方法を提供する。
【解決手段】超短パルスレーザー光を集光照射して透明部材の内部に熱変性領域を形成するレーザー加工方法である。超短パルスレーザー光は、ピーク強度が周期的に変化するパルス列P2から構成される。パルス列P2は、ピーク強度の変化の一周期Ts内に、ピーク強度が最大となる最大パルスPb1と、ピーク強度が最小となる最小パルスPb2と、最大パルスPb1と最小パルスPb2との間で、最大パルスPb1側から最小パルスPb2側に向かうに連れてピーク強度が漸次減少する複数のパルスからなる中間パルス群Pb3とを含む。
【選択図】図5
従来技術、競合技術の概要


近年、レーザー加工方法の一つとして、パルス幅が極めて小さい超短パルスレーザー光を集光照射することにより、非線形光吸収(多光子吸収)現象を生じさせ、ガラスなどの透明部材の内部に熱変性領域を形成する方法が研究開発されている(例えば、特許文献1を参照)。



非線形光吸収を用いたレーザー加工方法は、超短パルスレーザー光の集光領域のみを局所的に溶融して熱変性領域を形成できるという利点があり、例えば二つの透明部材を接合する場合などに利用されている。

産業上の利用分野


本発明は、レーザー加工方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
超短パルスレーザー光を集光照射し、透明部材の内部の集光領域に熱変性領域を形成するレーザー加工方法であって、
前記超短パルスレーザー光は、ピーク強度が周期的に変化するとともに、そのピーク強度の変化の一周期内に存在するパルス列が、ピーク強度が最大となる最大パルスと、ピーク強度が最小となる最小パルスと、前記最大パルスと前記最小パルスとの間で、前記最大パルス側から前記最小パルス側に向かうに連れてピーク強度が漸次減少する複数のパルスからなる中間パルス群とを含むことを特徴とするレーザー加工方法。

【請求項2】
前記最小パルスのピーク強度が、前記最大パルスのピーク強度の25%以上であることを特徴とする請求項1に記載のレーザー加工方法。

【請求項3】
前記超短パルスレーザー光が、1kHz~50kHzの周波数で強度変調されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザー加工方法。

【請求項4】
前記超短パルスレーザー光の繰り返し周波数が、100kHz~1MHzであることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のレーザー加工方法。

【請求項5】
前記熱変性領域を前記透明部材の切断予定線に沿って線状に形成し、前記透明部材を前記熱変性領域に引張応力を作用させて割断することを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載のレーザー加工方法。

【請求項6】
前記透明部材が第一部材と第二部材とを含む積層体であり、前記熱変性領域を前記第一部材と前記第二部材の界面に形成し、前記第一部材と前記第二部材とを接合することを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載のレーザー加工方法。

【請求項7】
前記透明部材がガラスであることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載のレーザー加工方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2016206869thum.jpg
出願権利状態 公開
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