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(In Japanese)形状測定方法及び形状測定装置 meetings

Patent code P190015848
File No. (S2016-0476-N0)
Posted date Feb 22, 2019
Application number P2018-502540
Date of filing Dec 21, 2016
International application number JP2016088196
International publication number WO2017149912
Date of international filing Dec 21, 2016
Date of international publication Sep 8, 2017
Priority data
  • P2016-040061 (Mar 2, 2016) JP
Inventor
  • (In Japanese)美濃島 薫
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人電気通信大学
Title (In Japanese)形状測定方法及び形状測定装置 meetings
Abstract (In Japanese)本発明を適用した形状測定方法は、時間軸に対する所定の周波数分布を有する光パルスが時系列に番号順に複数配された光パルス列を被測定物体に照射する工程と、出射された前記光パルスが前記被測定物体に作用した後の複数の受光対象光パルス列同士の前記光パルスの前記番号の対応関係と、前記光パルス内の前記周波数分布の対応関係とによって前記被測定物体の光学的形状を測定する工程と、を備えている。
Outline of related art and contending technology (In Japanese)

光を用いて測定対象(被測定物体)の形状等を測定する方法は、非接触・非破壊であるという優れた特徴を持っており、工業、医療をはじめとして基礎科学の分野への応用が期待されている。光を用いた形状測定装置としては、例えば所謂モアレ法と呼ばれ、コード化された光のパターンを用いた方法、測距法に基づいた方法等の種々の方法が提案されている。

例えば、特許文献1には、色が規則的に経時変化するチャープ光パルスを生成するチャープ光パルス生成手段と、被測定物(被測定物体)を介して該チャープ光生成手段からのチャープ光を取得し、取得した測定基準時における反射光の二次元情報を光色に基づいて三次元化する三次元情報取得手段と、を備えた三次元計測装置が開示されている。この三次元計測装置では、チャープ光生成手段によって生成したチャープ光パルスを被測定物に照射すると、被測定物を介して取得光が得られる。測定基準時に三次元情報取得手段によって取得された取得光の色情報は、被測定物の三次元形状と関係づけられる。

別の形状測定技術として、例えば、特許文献2には、測定対象に光が射出されてから反射像が取り込まれるまでの時間を用いて測定対象までの距離を計測する三次元形状計測法(形状測定方法)であって、射出される光の順番をコード化し、前記コード化された光の反射像をデコードすることにより距離計測を行う三次元形状計測法が開示されている。この三次元形状計測法において、測定対象に向けて射出される光には、平面光あるいは略平面光が用いられる。また、光の順番のコード化は、射出される光の波長あるいは光の射出のタイミングを変えることにより行われる。

Field of industrial application (In Japanese)

本発明は、形状測定方法及び形状測定装置に関する。本願は、2016年3月2日に、日本に出願された特願2016-40061号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
時間軸に対する所定の周波数分布を有する光パルスが時系列に番号順に複数配された光パルス列を被測定物体に照射する工程と、
出射された前記光パルスが前記被測定物体に作用した後の複数の受光対象光パルス列同士の前記光パルスの前記番号の対応関係と、前記光パルス内の前記周波数分布の対応関係とによって前記被測定物体の光学的形状を測定する工程と、
を備えている形状測定方法。

【請求項2】
 
前記光パルス列は光コムの離散的モード周波数の位相を制御することによって得られる請求項1に記載の形状測定方法。

【請求項3】
 
前記複数の受光対象光パルス列同士の前記光パルスの前記番号の対応関係は、前記受光対象光パルス列と所定の光路長を有する伝搬空間内を伝搬した参照光パルス列とが干渉することにより発生する干渉信号を用いて得られる請求項1又は請求項2に記載の形状測定方法。

【請求項4】
 
時間軸に対する所定の周波数分布を有する光パルスが時系列に番号順に複数配された光パルス列を被測定物体に照射する光源と、
前記光源から出射された前記光パルスが前記被測定物体に作用した後の複数の受光対象光パルス列同士の前記光パルスの前記番号の対応関係と、前記光パルス内の前記周波数分布の対応関係とによって前記被測定物体の光学的形状を測定する光学的形状測定部と、
を備えている形状測定装置。

【請求項5】
 
前記光源は、離散的モード周波数の位相が制御されることによって前記光パルス列を出射可能な光コムを備えている請求項4に記載の形状測定装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2018502540thum.jpg
State of application right Published


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