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保護膜作製装置

国内特許コード P190015921
整理番号 N18024
掲載日 2019年3月25日
出願番号 特願2018-159025
公開番号 特開2020-034323
出願日 平成30年8月28日(2018.8.28)
公開日 令和2年3月5日(2020.3.5)
発明者
  • 井上 淳期
  • 堀田 将臣
出願人
  • 国立大学法人信州大学
発明の名称 保護膜作製装置
発明の概要 【課題】サンプルの狙った微小領域にダメージを発生させることなく保護膜を作製することを可能にする保護膜作製装置を提供する。
【解決手段】保護膜作製装置は、保護膜を作製する対象物であるサンプル10をセットするサンプルステージ12と、サンプルステージ12に支持されたサンプル10の表面を観察する観察機構(光学顕微鏡14とモニター17)と、サンプルステージ12と光学顕微鏡14との相対位置を調節する調節機構と、サンプルステージ12に支持されたサンプル10に供給する保護材が収容されるプローブ20と、プローブ20を支持し、サンプル10の所要位置にプローブ20の先端の射出口を位置決めするロボットアーム16と、プローブ20に接続され、プローブ20に供給された保護材を射出する射出機構22、24とを備える。
【選択図】図1
従来技術、競合技術の概要

材料の微細な内部構造の観察のために、FIBを用いてサンプルを切削し、SEMにて断面を観察することが行われている。FIBで切削する際にイオンビームの広がりにより、狙っ所だけでなくその近辺がダメージを受けてしまう。そこで断面観察のためのFIB加工においては、加工する前に保護膜を作製し、保護膜の上から切削することにより、観察断面がイオンビームによるダメージを受けることを防止する手法が用いられている。

保護膜の作製方法として、蒸着やスパッタリングによって、材料表面にカーボンや金属の薄膜を作製する手法がある(非特許文献1)。また、FIBの装置に搭載されているデポジションガンを用いて保護膜を作製する方法がある(特許文献1)。この方法はデポジションガンを用いてサンプル表面に保護膜の原料となる化合物ガスを吹き付けながらイオンビームを照射することで、化合物ガスを分解し、分解された固体成分をサンプル表面に付着させることで保護膜を作製する方法である。

産業上の利用分野

本発明は、FIB装置のサンプル作製等に利用する保護膜作製装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
保護膜を作製する対象物であるサンプルをセットするサンプルステージと、
該サンプルステージにセットされたサンプルの表面を観察する観察機構と、
前記サンプルステージと前記観察機構との相対位置を調節する調節機構と、
前記サンプルステージに支持されたサンプルに供給する保護材が収容されるプローブと、
該プローブを支持し、前記サンプルの所要位置に前記プローブの先端の射出口を位置決めするロボットアームと、
前記プローブに接続され、該プローブに供給された保護材を射出する射出機構とを備えることを特徴とする保護膜作製装置。

【請求項2】
前記射出機構は、前記プローブの基端側に一端が接続されるチューブと、該チューブの他端側に接続され、前記プローブの内圧を上昇させプローブから保護材を射出させるブロワーとを備えることを特徴とする請求項1記載の保護膜作製装置。

【請求項3】
前記観察機構は、前記サンプルを視認する光学顕微鏡と、光学顕微鏡像を表示するモニターとを備えることを特徴とする請求項1または2記載の保護膜作製装置。

【請求項4】
前記調節機構は、前記サンプルステージをx軸、y軸、z軸方向に移動させる駆動機構と該駆動機構を制御するパソコンとを備えることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項記載の保護膜作製装置。

【請求項5】
前記ロボットアームは、x軸、y軸、z軸方向に移動させる移動機構と、該移動機構を制御するパソコンとを備えることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項記載の保護膜作製装置

【請求項6】
前記プローブは、中空かつ先端径が数μm~1mmのガラスプローブであることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項記載の保護膜作製装置。

【請求項7】
前記保護材は、導電性カーボンを水で溶解させたペースト状のカーボンであることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項記載の保護膜作製装置。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2018159025thum.jpg
出願権利状態 公開
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