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電子部品

国内特許コード P190016069
整理番号 N18015
掲載日 2019年5月24日
出願番号 特願2019-059516
公開番号 特開2020-161645
出願日 平成31年3月26日(2019.3.26)
公開日 令和2年10月1日(2020.10.1)
発明者
  • 佐藤 敏郎
  • 曽根原 誠
  • 秋山 知輝
出願人
  • 国立大学法人信州大学
発明の名称 電子部品
発明の概要 【課題】小型化でき、かつ、大きなQ値を有し得るインダクタ素子を備える電子部品を提供する。
【解決手段】本発明の電子部品であるインターポーザ1は、パターン配線21,22で形成された巻線を有する巻線層41,42と、巻線層41,42に積層された磁性層51,52,53とを備えるものであって、巻線層41,42は、パターン配線21間及びパターン配線22間が第1の絶縁材31で充填されて層状に構成されていると共に、第1の絶縁材31中に球体状の磁性微粒子21が分散されているものであり、磁性層51,52,53は、層状に形成された第2の絶縁材32中に扁平状の磁性微粒子22が分散されていると共に、扁平状の磁性微粒子22の面が磁性層51,52,53の面と平行になる向きで配置されているものである。
【選択図】図3
従来技術、競合技術の概要

電子機器の小型化、多機能化、高速処理化などの要求から、LSIなどの半導体部品やプリント基板というような電子部品中に、インダクタ素子(巻線)を内蔵するための技術開発が行われている。

LSIなどの半導体パッケージでは、一般にインターポーザ(再配線層)と呼ばれる基板に半導体のベアチップを実装して、パッケージとベアチップを接続することが行われている。

例えば特許文献1に、平面状のコイルを内蔵するインターポーザが記載されている。平面状のコイルは、大きさや形状の制約のある中ではインダクタンスを大きくし難く、Q値を大きくし難い。本願発明者らは、過去に、小型化が容易で、かつ、大きなQ値を有するインダクタを開発し、特許出願している(特許文献2)。特許文献2に記載のインダクタは、コイルの線間に磁性材料を充填したものである。

産業上の利用分野

本発明は、インダクタ素子やインターポーザなどの積層構造中に平面状の巻線が形成されている電子部品に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
パターン配線で形成された巻線を有する巻線層と、前記巻線層に積層された磁性層とを備える電子部品であって、
前記巻線層は、前記パターン配線以外の部位が第1の絶縁材で充填されて層状に構成されていると共に、前記第1の絶縁材中に球体状の磁性微粒子が分散されているものであり、
前記磁性層は、層状に形成された第2の絶縁材中に扁平状の磁性微粒子が分散されていると共に、前記扁平状の磁性微粒子の面が前記磁性層の面と略平行になる向きで配置されていることを特徴とする電子部品。

【請求項2】
複数の前記巻線層の各々の層間に前記磁性層が積層されていて、複数の前記巻線が電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品。

【請求項3】
最上層の前記巻線層の上にさらに前記磁性層が積層され、最下層の前記巻線層の下にさらに前記磁性層が積層されていることを特徴とする請求項2に記載の電子部品。

【請求項4】
複数の前記巻線層に少なくとも1層の前記磁性層が積層されていて、前記複数の巻線層の前記巻線によってトランスが構成されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品。

【請求項5】
前記トランスの1次コイルになる第1の前記巻線層と、前記トランスの2次コイルになる複数の他の前記巻線層とを備えることを特徴とする請求項4に記載の電子部品。

【請求項6】
対向する少なくとも一対の前記巻線層の間に、非磁性材で形成された非磁性層が積層されていることを特徴とする請求項4または5に記載の電子部品。

【請求項7】
さらに、導電性を有する導体層が積層されていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の電子部品。

【請求項8】
請求項1から7のいずれかに記載の電子部品が、インダクタ素子、インターポーザ又はプリント配線基板であることを特徴とする電子部品。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2019059516thum.jpg
出願権利状態 公開
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