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計測結果又は解析結果投影装置及び方法

国内特許コード P020000048
整理番号 U1999P056
掲載日 2003年5月27日
出願番号 特願平11-242869
公開番号 特開2001-066158
登録番号 特許第3259031号
出願日 平成11年8月30日(1999.8.30)
公開日 平成13年3月16日(2001.3.16)
登録日 平成13年12月14日(2001.12.14)
発明者
  • 藤垣 元治
  • 森本 吉春
出願人
  • 国立大学法人和歌山大学
発明の名称 計測結果又は解析結果投影装置及び方法
発明の概要 【課題】 計測結果又は解析結果と試料との対応を観察者にとって容易にする。
【解決手段】 計測部5によって計測された試料1の計測結果の画像は、計測結果解析部3に供給される。計測結果解析部3は、その結果得られた解析結果の画像を解析結果投影用プロジェクタ6aに供給する。解析結果投影用プロジェクタ6aは、解析結果の画像を試料1に投影する。
従来技術、競合技術の概要


近年、テレビカメラを用いて撮影した試料の形状や変形を計測する形状変形計測装置及び方法が、例えば、本発明者による特開平10-96606号公報や特開平10-101848公報に記載されている。そのような計測方法によって得られる計測結果は、直接又は解析された後にモニタ上に表示され又はプリントアウトされる。

産業上の利用分野


本発明は、試料の計測結果又はそれを解析することによって得られる解析結果をその試料に投影する計測結果又は解析結果投影装置及び方法に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
試料を計測する計測手段と、その計測手段による計測結果を解析し又は保存するする解析又は保存手段と、その解析又は保存手段による解析結果又は計測結果を前記試料に投影する投影手段とを具え、前記計測手段の光軸を、前記投影手段の光軸に一致させたことを特徴とする計測結果又は解析結果投影装置。

【請求項2】
前記計測手段の光軸を、ハーフミラーによって前記投影手段の光軸に一致させたことを特徴とする請求項1記載の計測結果又は解析結果投影装置。

【請求項3】
試料を計測する計測ステップと、この計測ステップの計測結果を解析し又は保存する解析又は保存ステップと、この解析又は保存ステップで解析された解析結果又は保存された測定結果を前記試料に投影する投影ステップとを具え、前記試料を計測する計測手段の光軸を、前記解析結果を投影する投影手段の光軸に一致させることを特徴とする計測結果又は解析結果投影方法。

【請求項4】
前記計測手段の光軸を、ハーフミラーによって前記投影手段の光軸に一致させることを特徴とする請求項3記載の計測結果又は解析結果投影方法。
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP1999242869thum.jpg
出願権利状態 登録
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