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MEASUREMENT RESULT OR ANALYSIS RESULT PROJECTING DEVICE AND METHOD

Patent code P020000048
File No. U1999P056
Posted date May 27, 2003
Application number P1999-242869
Publication number P2001-066158A
Patent number P3259031
Date of filing Aug 30, 1999
Date of publication of application Mar 16, 2001
Date of registration Dec 14, 2001
Inventor
  • (In Japanese)藤垣 元治
  • (In Japanese)森本 吉春
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人和歌山大学
Title MEASUREMENT RESULT OR ANALYSIS RESULT PROJECTING DEVICE AND METHOD
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate correspondence between a measurement result or an analysis result and a sample to an observer.
SOLUTION: An image of a measurement result of a sample 1 measured by a measuring part 5 is supplied to a measurement result analyzing part 3. The measurement result analyzing part 3 supplies an image of an analysis result obtained resultantly to a projector for analysis result projection 6a. The projector for analysis result projection 6a projects the image of the analysis result on the sample 1.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


近年、テレビカメラを用いて撮影した試料の形状や変形を計測する形状変形計測装置及び方法が、例えば、本発明者による特開平10-96606号公報や特開平10-101848公報に記載されている。そのような計測方法によって得られる計測結果は、直接又は解析された後にモニタ上に表示され又はプリントアウトされる。

Field of industrial application (In Japanese)


本発明は、試料の計測結果又はそれを解析することによって得られる解析結果をその試料に投影する計測結果又は解析結果投影装置及び方法に関するものである。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 
試料を計測する計測手段と、その計測手段による計測結果を解析し又は保存するする解析又は保存手段と、その解析又は保存手段による解析結果又は計測結果を前記試料に投影する投影手段とを具え、前記計測手段の光軸を、前記投影手段の光軸に一致させたことを特徴とする計測結果又は解析結果投影装置。

【請求項2】
 
前記計測手段の光軸を、ハーフミラーによって前記投影手段の光軸に一致させたことを特徴とする請求項1記載の計測結果又は解析結果投影装置。

【請求項3】
 
試料を計測する計測ステップと、この計測ステップの計測結果を解析し又は保存する解析又は保存ステップと、この解析又は保存ステップで解析された解析結果又は保存された測定結果を前記試料に投影する投影ステップとを具え、前記試料を計測する計測手段の光軸を、前記解析結果を投影する投影手段の光軸に一致させることを特徴とする計測結果又は解析結果投影方法。

【請求項4】
 
前記計測手段の光軸を、ハーフミラーによって前記投影手段の光軸に一致させることを特徴とする請求項3記載の計測結果又は解析結果投影方法。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP1999242869thum.jpg
State of application right Registered
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