多孔質体の改質方法及び改質装置
(未公開特許出願)
国内特許コード | P200017215 |
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整理番号 | 2019-004 |
掲載日 | 2020年9月29日 |
出願番号 | 特願2019-155512 |
出願日 | 令和元年8月28日(2019.8.28) |
発明者 |
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出願人 |
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発明の名称 |
多孔質体の改質方法及び改質装置
(未公開特許出願)
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発明の概要 | 多孔質体の改質を効率的に実現可能な方法および装置を提供する。ある態様の改質方法は、誘電体である連続多孔体の表面から裏面にわたりキャリアガスを浸透させる浸透工程と、連続多孔体の表面にプラズマを照射する照射工程と、を備える。ある態様の改質装置1は、誘電体である連続多孔体を収容可能であり、キャリアガスが満たされる処理室と、処理室にて連続多孔体を保持する保持面と、処理室に向けて延び、キャリアガスが満たされる伝搬路と、伝搬路に沿って設けられ、プラズマを発生させる電極と、を備える。 |
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発明者 |
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出願人 |
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