多孔質体の改質方法及び改質装置 （未公開特許出願）

国内特許コード	P200017215
整理番号	2019-004
掲載日	2020年9月29日
出願番号	特願2019-155512
出願日	令和元年8月28日(2019.8.28)
発明者	白藤立 他
出願人	公立大学法人大阪
発明の名称	多孔質体の改質方法及び改質装置 （未公開特許出願）
発明の概要	多孔質体の改質を効率的に実現可能な方法および装置を提供する。ある態様の改質方法は、誘電体である連続多孔体の表面から裏面にわたりキャリアガスを浸透させる浸透工程と、連続多孔体の表面にプラズマを照射する照射工程と、を備える。ある態様の改質装置１は、誘電体である連続多孔体を収容可能であり、キャリアガスが満たされる処理室と、処理室にて連続多孔体を保持する保持面と、処理室に向けて延び、キャリアガスが満たされる伝搬路と、伝搬路に沿って設けられ、プラズマを発生させる電極と、を備える。