静電気センサ
(未公開特許出願)
国内特許コード | P200017237 |
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掲載日 | 2020年10月5日 |
出願番号 | 特願2020-031917 |
出願日 | 令和2年2月27日(2020.2.27) |
発明者 |
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出願人 |
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発明の名称 |
静電気センサ
(未公開特許出願)
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発明の概要 |
静電気に対して安定して動作する、繰り返し使用することが可能な、小型の静電気センサを実現する。 静電気センサ(101)は、励起光を発する励起光源(1)と、シリコン基 板に形成された非線形光学媒質を有し、当該非線形光学媒質に、前記励起光によって励起され、かつ励起波長で共振することにより、前記励起波長を有する光を発生する微小共振器(31)が設けられている発光素子(3)と、発光素子(3)から出射された光を検出する受光素子(5)と、を備えている。 |
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発明者 |
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出願人 |
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