CHARGED PARTICLE BEAM OPERATING DEVICE, CHARGED PARTICLE BEAM ACCELERATING DEVICE, AND CHARGED PARTICLE BEAM OPERATING METHOD
| Patent code | P200017256 |
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| File No. | 14161 |
| Posted date | Nov 2, 2020 |
| Application number | P2019-007318 |
| Publication number | P2020-119644A |
| Date of filing | Jan 18, 2019 |
| Date of publication of application | Aug 6, 2020 |
| Inventor |
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| Applicant |
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| Title | CHARGED PARTICLE BEAM OPERATING DEVICE, CHARGED PARTICLE BEAM ACCELERATING DEVICE, AND CHARGED PARTICLE BEAM OPERATING METHOD |
| Abstract |
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam operating device capable of appropriately operating a charged particle beam while avoiding a collision with an electrode. SOLUTION: A charged particle beam operating device includes: a pair of first electrodes 12, 13, disposed on opposite sides across a charged particle beam in a first direction orthogonal to a traveling direction of the charged particle beam, extending in a second direction orthogonal to the traveling direction and the first direction; and a pair of second electrodes 14, 15, disposed on opposite sides across the charged particle beam in the second direction, each electrically connected to each of the pair of first electrodes. A potential difference is imparted between the pair of first electrodes 12, 13 and the pair of second electrodes 14, 15. |
| Outline of related art and contending technology |
(In Japanese) 特許文献1には、荷電粒子ビームの軌道上にセプタム電極及びデフレクタ電極を配置することによって、荷電粒子ビームを分離する装置が開示されている。また、特許文献1には、デフレクタ電極に高電圧を印加し、セプタム電極を接地することで、分離ビームのみに電場の影響を与える装置が開示されている。さらに、特許文献1には、荷電粒子ビームが衝突することに起因する発熱に耐えるために、熱放射特性に優れたコーティング材でセプタム電極を覆うことが記載されている。 |
| Field of industrial application |
(In Japanese) 本発明は、荷電粒子ビームを分離或いは結合させる荷電粒子ビーム操作装置に関する。 |
| Scope of claims |
(In Japanese) 【請求項1】 荷電粒子ビームを分離或いは結合する荷電粒子ビーム操作装置であって、 荷電粒子ビームの進行方向に直交する第1方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、前記進行方向及び前記第1方向に直交する第2方向に延設された一対の第1電極と、 前記第2方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、各々が前記一対の第1電極それぞれと電気的に接続された一対の第2電極とを備え、 前記一対の第1電極と、前記一対の第2電極との間に電位差が付与されることを特徴とする荷電粒子ビーム操作装置。 【請求項2】 請求項1に記載の荷電粒子ビーム操作装置において、 前記一対の第1電極に正電圧及び負電圧の一方が印加され、 前記一対の第2電極に正電圧及び負電圧の他方が印加されることを特徴とする荷電粒子ビーム操作装置。 【請求項3】 請求項1または2に記載の荷電粒子ビーム操作装置において、 前記第1電極及び前記第2電極の間に配置されるガイド電極と、 前記第1電極及び前記ガイド電極を接続する第1抵抗器と、 前記第2電極及び前記ガイド電極を接続する第2抵抗器とを備えることを特徴とする荷電粒子ビーム操作装置。 【請求項4】 請求項3に記載の荷電粒子ビーム操作装置において、 前記第2抵抗器は、前記第1抵抗器より抵抗値が大きいことを特徴とする荷電粒子ビーム操作装置。 【請求項5】 請求項3または4に記載の荷電粒子ビーム操作装置において、 前記第2電極及び前記ガイド電極は、前記第2方向に突出し、且つ前記進行方向に延設された平板形状であり、 前記第2方向における前記第2電極の突出量は、前記ガイド電極より大きいことを特徴とする荷電粒子ビーム操作装置。 【請求項6】 請求項1～5のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム操作装置において、 一方側の前記第1電極及び前記一対の第2電極は、他方側の前記第1電極及び前記一対の第2電極と比較して、離間距離より長く且つ電位差が大きいことを特徴とする荷電粒子ビーム操作装置。 【請求項7】 荷電粒子ビームが通過する主ダクトと、 前記主ダクト内の荷電粒子ビームを加速させる加速装置と、 前記主ダクトに合流する合流ダクトと、 前記主ダクトから分岐した分岐ダクトと、 前記主ダクト及び前記合流ダクトの合流点より荷電粒子ビームの進行方向の下流側、或いは前記主ダクト及び前記分岐ダクトの分岐点より荷電粒子ビームの進行方向の上流側に配置される請求項1～6のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム操作装置とを含むことを特徴とする荷電粒子ビーム加速装置。 【請求項8】 第1方向に離間した位置に配置されて、各々が前記第1方向に直交する第2方向に延設された一対の第1電極と、前記第1方向における前記一対の第1電極の間で前記第2方向に離間して配置され、各々が前記一対の第1電極それぞれと電気的に接続された一対の第2電極とを用いて、荷電粒子ビームを分離或いは結合する荷電粒子ビーム操作方法であって、 前記一対の第1電極と、前記一対の第2電極との間に電位差を付与するステップと、 前記第1方向及び前記第2方向に直交する方向に進行する荷電粒子ビームを、前記一対の第1電極及び前記一対の第2電極で囲まれた空間内に通過させるステップとを含むことを特徴とする荷電粒子ビーム操作方法。 |
| IPC(International Patent Classification) |
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| F-term |
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Drawing
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| State of application right | Published |
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