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ULTRAMICRO PUSH-IN TEST APPARATUS meetings

Patent code P020000167
File No. Y99-P312
Posted date May 27, 2003
Application number P2000-034225
Publication number P2001-221730A
Patent number P4008176
Date of filing Feb 10, 2000
Date of publication of application Aug 17, 2001
Date of registration Sep 7, 2007
Inventor
  • (In Japanese)長島 伸夫
  • (In Japanese)宮原 健介
  • (In Japanese)松岡 三郎
Applicant
  • (In Japanese)独立行政法人物質・材料研究機構
Title ULTRAMICRO PUSH-IN TEST APPARATUS meetings
Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a test apparatus having both the function of measuring the hardness of a material surface in an ultramicro region and the function of observing surfaces with high accuracy.

SOLUTION: The ultramicro push-in test apparatus includes a lever stand 4 having a silicon probe 1 and a lever 3 supported at each end and having a diamond presser 2 disposed thereon; a moving mechanism 7 for moving the lever stand 4 along three axes; a push-in mechanism 6 for pushing the diamond presser 2 into a sample; a displacement gauge 10 for measuring the displacement of the silicon probe 1 or the diamond presser 2; and an optical image receiving device 11 for use in determining the position of the silicon probe 1 or the diamond presser 2 and in observing the sample surface. The apparatus has in combination the function of measuring hardness by pushing the diamond presser into the sample surface and measuring the push-in force and the push-in depth, the function of an intermolecular force microscope for determining the configuration of the sample surface from the amount of displacement of the diamond presser or the silicon probe, and the function of an optical microscope for observing the sample surface by means of the optical image receiving device.

Field of industrial application (In Japanese)
この出願の発明は、超微小押し込み試験装置に関するものである。さらに詳しくは、この発明は、機能材料における微細組織に関する力学特性を評価するための微小硬度測定や材料表面観察を可能とし、機能材料の評価や、その開発の指針の確立に有用である、新しい超微小押し込み試験装置に関するものである。
Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
  探針と圧子が配設された両持ちレバーを具備するレバー台と、レバー台を3軸方向に移動するための移動機構と、圧子を試料に押し込むための押し込み機構と、探針および圧子の変位測定用の変位計と、探針および圧子の位置決定および試料表面の観察に用いられる光学受像装置とを具備する超微小押し込み試験装置であって、圧子を試料表面に押し込み、押し込み力および押し込み深さの測定による硬度測定機能と、探針の変位量から試料表面の形状を取得する原子間力顕微鏡機能と、光学受像装置による試料表面観察を行なう光学顕微鏡機能とを複合して併せ持つことを特徴とする超微小押し込み試験装置。
【請求項2】
  レバー台中央部に両持ちレバー設置用の穴が開口されている請求項1の超微小押し込み試験装置。
【請求項3】
  レバー台側面に両持ちレバー設置用の溝が掘られてている請求項1または2の超微小押し込み試験装置。
【請求項4】
  両持ちレバーの一部に圧子を備え、また、両持ちレバーの一部に位置合わせ用の目印が付加されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかの超微小押し込み試験装置。
【請求項5】
  レバー台には複数の探針が備えられている請求項1ないし4のいずれかの超微小押し込み試験装置。
【請求項6】
  レバー台には複数の両持ちレバーが備えられている請求項1ないし5のいずれかの超微小押し込み試験装置。
【請求項7】
  探針がシリコンもしくはシリコン類似の鋭利な形状に加工しやすい物質であって、圧子がダイヤモンドもしくはダイヤモンド類似の硬質物質である請求項1ないし6のいずれかの超微小押し込み試験装置。
【請求項8】
  マイクロメータオーダー精度でのレバー台の移動をリモートコントロールする機構を有する請求項1ないし7のいずれかの超微小押し込み試験装置。
Industrial division
  • (In Japanese)試験、検査
  • Measurement
IPC(International Patent Classification)
F-term
State of application right Right is in force
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