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ELECTRON SPIN ANALYZER

Patent code P020000333
File No. P1999-060-JP01
Posted date May 27, 2003
Application number P2000-133700
Publication number P2001-319611A
Patent number P3757263
Date of filing May 2, 2000
Date of publication of application Nov 16, 2001
Date of registration Jan 13, 2006
Inventor
  • (In Japanese)武笠 幸一
  • (In Japanese)池田 正幸
  • (In Japanese)末岡 和久
  • (In Japanese)武藤 征一
  • (In Japanese)上遠野 久夫
  • (In Japanese)上田 映介
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人 北海道大学
Title ELECTRON SPIN ANALYZER
Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron spin analyzer that can effectively detect scattered electrons even when the apparatus are made smaller.

SOLUTION: An aperture diameter of an inner entrance 15 of an inner acceleration electrode 3 is made larger than that of an outer entrance 14 of the outer acceleration electrode 2 preferably by 0.1 to 5 degrees in angular aperture. And an aperture of an inner opening 7 of the inner acceleration electrode 3 is made larger than that of an outer opening 8 of the outer acceleration electrode 2 preferably by 0.1 to 5 degrees in angular aperture. Besides, a correction electrode 9 is provided at a scattered electron detector 4. Further, the scattered electron detector 4 is disposed at a position of 100 to 140 degrees with respect to the direction of the incident electron beam where the part of scattered electrons gets largest.

Outline of related art and contending technology (In Japanese)
従来の電子スピン分析器においては、散乱した電子線を効率よく検出すべく、装置全体が大型する傾向があった。例えば、Mottスピン分析器などにおいては、散乱角95~145度の広い範囲に亘って散乱電子を検出する必要があることから、散乱電子検出器を大きくしなければならなかった。
装置の大型化は、設置場所の確保及び操作性の問題から、望ましいものではなく、電子スピン分析器においても小型化の要請が高まっている。しかしながら、従来の電子スピン分析器をそのままの形態で縮尺させたのみでは、散乱電子を効率よく検出することができないという問題があった。
Field of industrial application (In Japanese)
本発明は、電子スピン分析器に関し、さらに詳しくは電子材料分析、磁気材料材料表面分析などにおける高効率の電子スピン分析装置に好適に用いることのできる、電子スピン分析器に関する。
Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
  電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記内側加速電極に設けられた内側導入口の開口径を、前記電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記外側加速電極に設けられた外側導入口の開口径よりも大きくしたことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項2】
  前記内側導入口の開口径が、前記外側導入口の開口径よりも開口角で0.1~5度大きいことを特徴とする、請求項1に記載の電子スピン分析器。
【請求項3】
  前記内側導入口及び前記外側導入口の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項1又は2に記載の電子スピン分析器。
【請求項4】
  電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、前記散乱ターゲットによって散乱された電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記内側加速電極に設けられた内側開口部の開口径を、前記散乱ターゲットによって散乱された前記電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記外側加速電極に設けられた外側開口部の開口径よりも大きくしたことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項5】
  前記内側開口部の開口径が、前記外側開口部の開口径よりも開口角で0.1~5度大きいことを特徴とする、請求項4に記載の電子スピン分析器。
【請求項6】
  前記内側開口部及び前記外側開口部の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項4又は5に記載の電子スピン分析器。
【請求項7】
  電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記散乱電子検出部に補正電極を設けたことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項8】
  前記補正電極は、電界レンズからなることを特徴とする、請求項7に記載の電子スピン分析器。
【請求項9】
  電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記散乱電子検出器を、電子線の入射方向に対して100~140度の位置に配置したことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項10】
  電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記内側加速電極に設けられた内側導入口の開口径を、前記電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記外側加速電極に設けられた外側導入口の開口径よりも大きくし、前記散乱ターゲットによって散乱された電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記内側加速電極に設けられた内側開口部の開口径を、前記散乱ターゲットによって散乱された前記電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記外側加速電極に設けられた外側開口部の開口径よりも大きくし、前記散乱電子検出部に補正電極を設けるとともに、前記散乱電子検出器を電子線の入射方向に対して100~140度の位置に配置したことを特徴とする、電子スピン分析器。
【請求項11】
  前記内側導入口の開口径が、前記外側導入口の開口径よりも開口角で0.1~5度大きいことを特徴とする、請求項10に記載の電子スピン分析器。
【請求項12】
  前記内側導入口及び前記外側導入口の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項10又は11に記載の電子スピン分析器。
【請求項13】
  前記内側開口部の開口径が、前記外側開口部の開口径よりも開口角で0.1~5度大きいことを特徴とする、請求項10~12のいずれか一に記載の電子スピン分析器。
【請求項14】
  前記内側開口部及び前記外側開口部の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項10~13のいずれか一に記載の電子スピン分析器。
【請求項15】
  前記補正電極は、電界レンズからなることを特徴とする、請求項10~14のいずれか一に記載の電子スピン分析器。
Industrial division
  • Electron tube
  • (In Japanese)試験、検査
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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04184_01SUM.gif
State of application right Right is in force
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