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MICRO OPTICAL SHAPING METHOD meetings

Patent code P03A000603
File No. U2000P122
Posted date Aug 28, 2003
Application number P2000-352681
Publication number P2002-154163A
Patent number P3520329
Date of filing Nov 20, 2000
Date of publication of application May 28, 2002
Date of registration Feb 13, 2004
Inventor
  • (In Japanese)三輪 昌史
Applicant
  • (In Japanese)学校法人和歌山大学
Title MICRO OPTICAL SHAPING METHOD meetings
Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a novel optical shaping method capable of forming a fine structure simply in a relatively short time.

SOLUTION: The interior of a liquid photosetting resin is continuously irradiated with laser beam while scanned by laser beam to form the photosetting resin A cured in a segment like state and a plurality of the cured resin segments are laminated to form planar fine structures B1-B6 or a three-dimensional fine structure C.

Outline of related art and contending technology (In Japanese)従来の光造形法では、例えば、特開平9-141749号公報又は特開平10-202756号公報に記載されているように、作製すべき構造物のスライスデータを基に所定の光を光硬化性樹脂に照射してスライス状に硬化させ、このスライス状に硬化した光硬化性樹脂を積層させることによって、目的とする3次元構造物を作製していた。しかしながら、作製すべき3次元構造物の大きさが小さくなると、例えば、その3次元構造物に突起状物を形成しようとした場合、この突起状物を支持するための支持部材が必要とされる。この支持部材についても、通常は前述したようなスライスデータに基づき、前記光硬化性樹脂に光を照射して硬化することによって作製し、目的とする突起状物が形成された後は手作業によって除去される。
Field of industrial application (In Japanese)マイクロセンサ、マイクロアクチュエータ及びマイクロマシンの分野で用いることのできる、ケースや構造材などの微小構造物の作製に対して好適に用いることのできるマイクロ光造形法
Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
  液状の光硬化性樹脂の内部にレーザ光を走査させながら連続的に照射し、複数の面状体から3次元的に構成されてなる3次元微小構造物を作製する方法であって、前記光硬化性樹脂の前記内部を線分的に連続させて硬化することにより、前記3次元微小構造物の底面部分を形成し、次いで、前記3次元微小構造物の側面部分を形成し、次いで、前記3次元微小構造物の上面部分を形成することを特徴とする、マイクロ光造形法。
【請求項2】
  前記3次元微小構造物の全体に対して紫外光を照射させることにより、前記3次元微小構造物内の未硬化部分を硬化させることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロ光造形法。
【請求項3】
  前記3次元微小構造物は、1mm以下のオーダの大きさを有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のマイクロ光造形法。
【請求項4】
  前記3次元微小構造物は、10μm以下のオーダの大きさを有することを特徴とする、請求項3に記載のマイクロ光造形法。
Industrial division
  • High polymer
  • Miscellaneous in the machine element category
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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09024_03SUM.gif
State of application right Right is in force
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