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TEMPERATURE MEASURING DEVICE commons

Patent code P04A004045
File No. ID5049
Posted date Apr 28, 2004
Application number P2002-204563
Publication number P2004-045283A
Patent number P3584292
Date of filing Jul 12, 2002
Date of publication of application Feb 12, 2004
Date of registration Aug 13, 2004
Inventor
  • (In Japanese)長谷川 靖洋
  • (In Japanese)山口 作太郎
  • (In Japanese)江浦 隆
  • (In Japanese)小峰 啓史
Applicant
  • (In Japanese)国立大学法人埼玉大学
Title TEMPERATURE MEASURING DEVICE commons
Abstract PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a temperature measuring device capable of simply and easily varying a utilizing temperature range with a simple constitution.
SOLUTION: On joint surfaces of flange members 10, 12 on the vacuum side and 12 on the atmospheric side, O-rings 131, 132 and 141, 142 are provided opposite to each other. The flanges 10, and 12 for vacuum side and atmospheric side are forcedly contacted by using screw members 16 while facing each O-rings of 131, 132 and 141, 142 respectively by crossing the O-rings with a middle part of a thermocouple 15 lead wires. The wiring of the thermocouple 15 between vacuum environment and atmospheric environment is performed by forcedly contacting the O-rings of 131, 132 and 141, 142 respectively, the vacuum sealing can be kept by elasticity of each O-rings, thereby the desired purpose is attained.
Outline of related art and contending technology (In Japanese)


一般に、温度測定装置には、測定温度範囲に応じてアルメル・クロメル熱電対等の各種の熱電対が選択的に用いられている。このような熱電対を用いて真空中の温度を測る方法としては、例えばアルメル・クロメル熱電対を用いる場合、熱電対を同質の材料のアルメル及びクロメルで製作した専用の接続用真空フランジを用いて真空環境と圧力環境である大気環境との間に配線して真空環境における測定が行われる。



ところが、上記温度測定装置では、その熱電対に検出可能な使用温度範囲が存在するために、その使用温度範囲に適合する熱電対及び真空フランジを、予め用意しておいて、その使用温度範囲に応じて交換配置することにより、所望の使用温度範囲の温度測定を行うように構成される。このため、真空環境において、各種の使用温度範囲における高精度な測定を実現するように構成すると、その装置が大掛かりとなるという不都合を有する。



また、熱電対の材質により、真空シールを施すことが困難な場合には、材質の異なる真空フランジを用いて温度検出を行う方法も採られている。しかし、この方法では、その温度測定に若干の測定誤差が生じて、正確な温度測定が困難なために、その測定の信頼性が劣るという問題を有する。

Field of industrial application (In Japanese)


この発明は、例えば真空環境における温度測定を行うのに用いられる温度測定装置に関する。

Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
 一方が真空側に固定されるものであって、リング状溝が接合面に互いに対向して設けられ、このリング状溝の内周側に前記真空環境に連通される間隙部が設けられ、前記リング状溝の外周側に複数の当接部及び圧力環境に連通される間隙部が交互に設けられた一対のフランジ部材と、
この一対のフランジ部材の各リング状溝に収容されるリング状弾性部材と、
前記一対のフランジ部材の当接部同士を当接させた状態で、各リング状溝に収容された前記弾性リング部材同士を圧接させて、該一対のフランジ部材相互を締結するフランジ締結手段と、
中間部が前記一対のフランジ部材のリング状溝に収容されたリング状弾性部材間に挟持された状態で横断させて、前記リング状溝の内周側及び外周側の間隙部を通して真空環境側と圧力環境側間に配線される被覆が施された熱電対と、
この熱電対の出力信号に基づいて温度を検出する温度検出部と
を具備したことを特徴とする温度測定装置。
【請求項2】
 前記一対のフランジ部材の各接合面のリング状溝は、少なくとも2本が同軸的に設けられることを特徴とする請求項1記載の温度測定装置。
【請求項3】
 さらに、前記一対のフランジ部材のリング状溝に収容されたリング状弾性部材間に塗布されるグリースを備えることを特徴とする請求項1又は2記載の温度測定装置。
【請求項4】
 さらに、前記一対のフランジ部材相互間を位置決めする位置決め手段を具備することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の温度測定装置。
【請求項5】
 前記一対のフランジ部材には、前記外周部側の複数の当接部及び間隙部は、交互に、且つ放射状に配されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の温度測定装置。
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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JP2002204563thum.jpg
State of application right Registered
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