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THERMO-OPTICAL CONSTANT MEASURING METHOD FOR POLYMERIC MATERIAL AND THERMO-OPTICAL CONSTANT MEASURING METHOD FOR POLYMERIC THIN FILM

Patent code P04A005602
File No. ShIP‐Z007
Posted date Jan 18, 2005
Application number P2000-310615
Publication number P2002-116164A
Patent number P3380901
Date of filing Oct 11, 2000
Date of publication of application Apr 19, 2002
Date of registration Dec 20, 2002
Inventor
  • (In Japanese)杉原 興浩
  • (In Japanese)岡本 尚道
  • (In Japanese)冨木 政宏
Applicant
  • (In Japanese)学校法人静岡大学
Title THERMO-OPTICAL CONSTANT MEASURING METHOD FOR POLYMERIC MATERIAL AND THERMO-OPTICAL CONSTANT MEASURING METHOD FOR POLYMERIC THIN FILM
Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a novel method for measuring the thermo-optical constant of a polymeric material or a polymeric thin film used for a polymeric light wave guide path device, or the like.

SOLUTION: A laser beam emitted from a light source 1 is transmitted by a λ/2 plate 2 to obtain TE-mode light or TM-mode light. The light is evenly polarized by a polarizer 3, then converged by a lens 4, and made incident at an angle θ on the lattice-shaped polymeric thin film 12 constituting a polymeric light-wave guide path element 10 on a rotary stage 5. The rotary stage 5 is rotated to change the angle θ, thereby providing reflected light with a plurality of modes. Reflection angles θ0 and θ1 of the reflected light of the respective modes are measured to obtain refraction factors ng. The above operation is conducted at a plurality of different temperatures to obtain refraction factors ng corresponding to the respective temperatures T. The thermo-optical constant dng/dT is induced from the slope of a graph expressing a relation between these.

Outline of related art and contending technology (In Japanese)マルチメディアアプリケーションの増大に伴い、情報量の爆発的増加に対する情報処理能力の向上が急速に求められている。特に、従来の電気配線実装に代わる光インターコネクション技術の開発が急速に進んでおり、隣接するボード間、さらにはボード内のチップ間からチップ内というように、微小領域における光インターコネクションの開発が要求されている。これらの隣接場においては、曲げ損失及び曲げ中心数の増大や、ファイバ余長処理の必要性などにより、従来のガラスを中心とした無機材料からなる光ファイバ及び光導波路の使用が極度に制限されている。このため、ガラスなどの無機材料に代わる柔軟性の高い材料、及びそれを用いた柔軟性の高いデバイスの出現が望まれている。高分子材料は、上記要件を満足するとともに、スピンコート法やディップ法などによる薄膜形成が容易であり、上記光導波路を構成する材料として適している。さらに、高分子薄膜は、製膜プロセス中に高温プロセスを含まないことから、石英などの無機材料基板のみでなく、高分子基板上などにも容易に形成することができる。このため、光通信分野における光集積回路や光情報処理分野における光配線板などとして、上記高分子薄膜を具えた光導波路部品が大量及び安価に製造できることが期待されている。実際、アクゾノーベル社やNTT社において、熱光学スイッチなどとして使用可能な、1mS程度の応答速度を有する光導波路デバイスが開発されている。このような光導波路デバイスにおいては熱光学特性が極めて重要な物理特性であり、熱光学定数を簡便に測定する方法を開発することが急務となっている。
Field of industrial application (In Japanese)本発明は、高分子材料の熱光学定数測定方法及び高分子薄膜の熱光学定数測定方法に関する。
Scope of claims (In Japanese)
【請求項1】
  高分子材料の温度を変化させて異なる複数の温度に保持するとともに、それぞれの温度に保持された高分子材料の表面に光を入射させて、前記高分子材料の前記表面から複数のモードの反射光を得、これら複数のモードの反射光の反射角度を求めることにより、前記高分子材料の熱光学定数を測定することを特徴とする、高分子材料の熱光学定数測定方法。
【請求項2】
  TEモード光及びTMモード光を前記高分子材料の前記表面に入射させ、前記TEモード光及び前記TMモード光のそれぞれに対する複数のモードの反射光の反射角度を求めることにより、前記高分子材料の前記熱光学定数を測定するとともに、前記熱光学定数の異方性を測定することを特徴とする、請求項1に記載の高分子材料の熱光学定数測定方法。
【請求項3】
  所定の基板と、この基板上に形成された高分子薄膜とを具えた高分子デバイスにおいて、前記高分子薄膜の温度を変化させて異なる複数の温度に保持するとともに、それぞれの温度に保持された前記高分子薄膜の表面に光を入射させて、前記高分子薄膜の前記表面から複数のモードの反射光を得、これら複数のモードの反射光の反射角度を求めることにより、前記高分子薄膜の熱光学定数を測定することを特徴とする、高分子薄膜の熱光学定数測定方法。
【請求項4】
  TEモード光及びTMモード光を前記高分子薄膜の前記表面に入射させ、前記TEモード光及び前記TMモード光のそれぞれに対する複数のモードの反射光の反射角度を求めることにより、前記高分子薄膜の前記熱光学定数を測定するとともに、前記熱光学定数の異方性を測定することを特徴とする、請求項3に記載の高分子薄膜の熱光学定数測定方法。
【請求項5】
  前記高分子デバイスは高分子光導波路デバイスであり、前記高分子薄膜は高分子光導波路を構成することを特徴とする、請求項3又は4に記載の高分子薄膜の熱光学定数測定方法。
Industrial division
  • (In Japanese)試験、検査
  • High polymer
IPC(International Patent Classification)
F-term
Drawing

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09295_02SUM.gif
State of application right Right is in force
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