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Title
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1 特願2013-558830 特許第5598829号 オゾン水を用いたパターニング方法 2015/02/09 2017/12/18 科学技術振興機構(JST)
2 特願2012-147442 特許第5154705号 研磨パッド成形金型の製造方法、その方法で製造される研磨パッド成形金型、及びその金型で製造した研磨パッド 2013/12/18 2017/12/27 九州工業大学
3 特願2008-054506 特許第5306670号 シリコンを母材とする複合材料及びその製造方法 実績あり 2009/09/18 2018/02/05 科学技術振興機構(JST)
4 特願2006-131763 特許第4392505号 多孔質シリコン膜の製造方法 新技術説明会 2007/12/28 2018/02/21 群馬大学
5 特願2004-247363 特許第4423419号 時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置 新技術説明会 2006/04/14 2018/03/07 広島大学
6 特願2003-007438 特許第3858093号 マイクロプラズマ生成装置、プラズマアレイ顕微鏡、及びマイクロプラズマ生成方法 2007/12/28 2018/03/14 埼玉大学
7 特願2004-343294 特許第4636862号 ガスクラスターイオンビーム照射装置 2018/11/21 2020/11/27 京都大学

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