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該当件数 95件

No. 出願番号
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1 特願2018-527637 WO2018012546 半導体積層膜の製造方法、および半導体積層膜 NEW 2019/06/24 2019/06/24 東京農工大学
2 特願2017-036799 特開2018-141208 超音速フリージェット物理蒸着装置で用いる超音速ノズル、超音速フリージェット物理蒸着装置で用いる超音速ノズルの製造方法、超音速フリージェット物理蒸着装置で用いる超音速ノズルの設計方法及びコンピュータプログラム 新技術説明会 2019/04/23 2019/05/23 芝浦工業大学
3 特願2007-530913 特許第5396579号 酸化亜鉛薄膜の製造方法及び製造装置 新技術説明会 外国出願あり 2019/03/29 2019/04/19 山梨県産業技術センター
4 特願2017-565507 WO2017135136 支持体上に単原子が分散した構造体、支持体上に単原子が分散した構造体を製造する方法およびスパッタ装置 2019/01/24 2019/01/24 北海道大学
5 特願2017-090568 特開2018-190800 トランス及び該トランスを用いたレクテナ 新技術説明会 2018/12/20 2019/02/22 早稲田大学
6 特願2014-214096 特許第6380932号 ナノオーダ構造体の製造方法および製造装置 外国出願あり 2018/11/21 2018/11/21 京都大学
7 特願2017-535517 WO2017030087 ナノクラスター分散液、ナノクラスター膜、ナノクラスター分散体、ナノクラスター分散液の製造方法およびナノクラスター分散液の製造装置 2018/11/05 2018/11/05 科学技術振興機構(JST)
8 特願2001-256865 特許第3834612号 劣化検知センサ付き軸受 コモンズ 新技術説明会 2018/09/18 2018/09/18 産総研
9 特願2016-086074 特開2017-193770 Ru成膜方法、Ru成膜装置、金属成膜装置、Ruバリアメタル層、配線構造 新技術説明会 2017/11/21 2018/01/24 茨城大学
10 特願2016-035760 特開2017-152628 銅の成膜装置、銅の成膜方法、銅配線形成方法、銅配線 新技術説明会 2017/09/26 2017/11/21 茨城大学
11 特願2013-181145 特許第5613805号 酸化亜鉛系透明導電膜、マグネトロンスパッタリング用焼結体ターゲット、液晶ディスプレイ及びタッチパネル、ならびに酸化亜鉛系透明導電膜を含んでなる機器 新技術説明会 2017/08/02 2017/12/14 金沢工業大学
12 特願2015-534036 特許第6133991号 ゲルマニウム層上に酸化ゲルマニウムを含む膜を備える半導体構造およびその製造方法 2017/06/23 2017/12/18 科学技術振興機構(JST)
13 特願2015-537904 特許第6284162号 高温超伝導線材の製造方法および高温超伝導線材 2017/04/07 2018/03/15 京都大学
14 特願2014-521490 特許第6198276号 C12A7エレクトライドの薄膜の製造方法、およびC12A7エレクトライドの薄膜 2017/03/16 2017/12/18 科学技術振興機構(JST)
15 特願2014-521492 特許第6284157号 有機エレクトロルミネッセンス素子 2017/03/16 2018/03/15 科学技術振興機構(JST)
16 特願2015-525201 特許第6278414号 磁化同軸プラズマ生成装置 2017/03/14 2018/02/26 日大NUBIC
17 特願2009-070630 特許第5196403号 サファイア基板の製造方法、および半導体装置 実績あり 2016/09/08 2018/01/23 山口TLO
18 特願2002-207263 特許第3936970号 薄膜作製用スパッタ装置 新技術説明会 実績あり 2016/06/29 2018/03/20 山口TLO
19 特願2007-078925 特許第4742276号 強磁性体の形成方法並びにトランジスタ及びその製造方法 2016/03/10 2018/02/09 科学技術振興機構(JST)
20 特願2013-165669 特許第6168518号 金属蒸着用るつぼ 2015/04/20 2017/12/18 山口大学
21 特願2013-112995 特許第5493139号 ナノクラスター生成装置 新技術説明会 2015/02/24 2017/12/18 科学技術振興機構(JST)
22 特願2006-162394 特許第4514157号 イオンビーム照射装置および半導体デバイスの製造方法 外国出願あり 2014/08/08 2018/02/20 京都大学
23 特願2012-195690 特許第6031725号 合金薄膜生成装置 新技術説明会 2014/04/11 2019/02/22 日大NUBIC
24 特願2004-343001 特許第4716277号 薄膜形成方法、蒸着源基板、および蒸着源基板の製造方法 2014/02/21 2018/03/09 京都大学
25 特願2012-087038 特許第5688664号 膜厚方向に組成比が連続的に変化した薄膜の製造方法 2013/12/13 2017/12/25 山口TLO
26 特願2009-517758 特許第5300084号 薄膜作製用スパッタ装置 実績あり 外国出願あり 2013/11/12 2018/01/23 山口TLO
27 特願2012-068695 特許第5996227号 酸化物膜及びその製造方法 新技術説明会 外国出願あり 2013/10/17 2017/12/25 龍谷大学
28 特願2007-168708 特許第5251015号 熱処理装置及び熱処理方法 実績あり 2013/08/05 2018/02/08 関西学院大学
29 特願2010-164010 特許第5561676号 SiC半導体ウエーハ熱処理装置 実績あり 2013/08/05 2018/01/12 関西学院大学
30 特願2011-254205 特許第5877509号 荷電粒子ビーム生成装置及び荷電粒子ビーム生成方法 2013/06/12 2018/01/09 静岡大学
31 特願2012-120803 特許第5946060号 接合部材、その形成方法及び装置 新技術説明会 2013/06/12 2017/12/21 広島大学
32 特願2012-129099 特許第5897409号 薄膜形成方法及び切削工具の製造方法 新技術説明会 2013/06/12 2017/12/21 広島大学
33 特願2011-141111 特許第6010809号 半導体装置の製造方法 コモンズ 新技術説明会 2013/04/10 2018/01/09 琉球大学
34 特願2001-058917 特許第5002864号 有機金属化合物を用いた酸化物光触媒材料およびその応用品 コモンズ 実績あり 2013/04/08 2018/02/21 八戸工業高等専門学校
35 特願2011-197115 特許第5773491号 ナノ接合素子およびその製造方法 2013/04/04 2018/01/17 北海道大学
36 特願2012-116559 特許第5963132号 ダイヤモンド合成方法およびダイヤモンド合成装置 新技術説明会 2013/04/04 2017/12/26 八戸工業高等専門学校
37 特願2011-166506 特許第5943318号 透明導電膜作成方法 新技術説明会 2013/03/14 2018/01/05 島根大学
38 特願2011-033994 特許第5669198号 スパッタリング装置 2013/02/18 2018/01/11 金沢工業大学
39 特願2011-088465 特許第5395842号 真空蒸着成膜方法、真空蒸着成膜システム、結晶性真空蒸着膜 2012/11/21 2018/01/09 自然科学研究機構(NINS)
40 特願2011-067091 特許第5641348号 リン系化合物半導体の製造方法 新技術説明会 2012/11/01 2018/01/17 京都大学
41 特願2012-139897 特許第5246900号 酸化マグネシウム薄膜の作成方法 2012/08/31 2017/12/21 科学技術振興機構(JST)
42 特願2011-189748 特許第5692726号 アルミニウム薄膜の製造方法 2012/05/14 2018/01/05 鹿児島大学
43 特願2011-017820 特許第5807893号 微粒子の製造方法 新技術説明会 2012/02/22 2018/01/09 千葉大学
44 特願2010-126581 特許第5429752号 透明導電薄膜用ターゲット材およびその製造方法 新技術説明会 2012/01/10 2018/01/12 島根大学
45 特願2006-098046 特許第4370408号 レーザーアブレーション成膜装置 コモンズ 2011/12/19 2018/02/22 大分大学
46 特願2010-000588 特許第5669295号 多層膜光学素子 新技術説明会 2011/10/21 2018/05/22 量子科学技術研究開発機構
47 特願2005-217051 特許第4982840号 TiN系硬質被膜、及びそれを含む表面硬化材 コモンズ 2011/08/18 2018/02/28 横浜国立大学
48 特願2005-154901 特許第4774510号 プラズマ蒸着装置 コモンズ 2011/08/18 2018/03/02 宇都宮大学
49 特願2010-068707 特許第4568827号 アモルファス酸化物薄膜の気相成膜方法 実績あり 2011/07/14 2018/01/15 科学技術振興機構(JST)
50 特願2010-068708 特許第4568828号 アモルファス酸化物薄膜 実績あり 2011/07/14 2018/01/15 科学技術振興機構(JST)
51 特願2008-228904 特許第5408565号 表面増強赤外吸収センサー材料 2011/07/08 2018/01/30 物質・材料研究機構
52 特願2008-072573 特許第5388266号 ZnO系ターゲット及びその製造方法並び導電性薄膜の製造方法及び導電性薄膜 2011/07/07 2018/02/06 科学技術振興機構(JST)
53 特願2007-034150 特許第4885002号 超伝導化合物薄膜及びその作成方法 コモンズ 2011/07/04 2018/02/09 科学技術振興機構(JST)
54 特願2005-503668 特許第4214279号 4元組成比傾斜膜の作成方法及び2元組成比・膜厚傾斜膜の作成方法 コモンズ 2011/06/23 2018/02/26 科学技術振興機構(JST)
55 特願2004-251151 特許第4766416号 マスキング機構及びそれを備えた成膜装置 2011/06/21 2018/03/09 科学技術振興機構(JST)
56 特願2004-537609 特許第4168425号 成膜装置用マスキング機構 コモンズ 2011/06/21 2018/03/09 科学技術振興機構(JST)
57 特願2004-054035 特許第4587276号 液晶高分子からなる膜の製造方法 2011/06/20 2018/03/09 科学技術振興機構(JST)
58 特願2000-205941 特許第3531865号 超平坦透明導電膜およびその製造方法 2011/06/08 2015/09/09 科学技術振興機構(JST)
59 特願2000-259777 特許第3446138号 基板マスキング機構およびコンビナトリアル成膜装置 実績あり 2011/06/08 2015/08/28 科学技術振興機構(JST)
60 特願2000-394583 特許第4224594号 フレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法 2011/06/08 2013/04/23 科学技術振興機構(JST)
61 特願2009-260846 特許第5432675号 金微粒子の製造方法、金微粒子、レーザアブレーション装置、それに用いられる収集部材及び微粒子の製造方法 新技術説明会 2011/06/06 2018/01/29 広島大学
62 特願2010-138027 特許第5545567号 単結晶ダイヤモンド成長用の基材及び単結晶ダイヤモンドの製造方法 2011/04/12 2018/01/16 金沢大TLO
63 特願2007-298752 特許第5394632号 単結晶SiC基板の製造方法 2011/03/14 2018/02/08 大阪府立大学
64 特願2008-334310 特許第5142111号 スパッタリング装置 2010/11/05 2018/01/30 金沢工業大学
65 特願2008-334311 特許第5131665号 スパッタリング装置 2010/11/05 2018/01/30 金沢工業大学
66 特願2010-157342 特許第5493107号 面方位(111)のMgO薄膜の作製方法 コモンズ 2010/08/13 2018/01/15 科学技術振興機構(JST)
67 特願2009-065969 特許第5236542号 酸化物超伝導薄膜の製造方法 新技術説明会 2010/07/09 2018/01/22 熊本高等専門学校(八代キャンパス)
68 特願2008-173787 特許第5317033号 アナターゼ型酸化チタン 新技術説明会 2010/02/19 2018/01/30 島根大学
69 特願2008-035297 特許第5363742号 酸化亜鉛系透明導電膜 2009/10/23 2018/01/30 金沢工業大学
70 特願2008-082208 特許第4993211号 真空搬送機構及びそれを備えたマルチチャンバシステム コモンズ 2009/10/23 2018/02/06 科学技術振興機構(JST)
71 特願2009-113721 特許第5507882号 酸化亜鉛透明導電膜の製造方法及びこの方法を実施するための製造装置 新技術説明会 2009/07/17 2018/01/25 茨城大学
72 特願2007-322712 特許第5344449号 半導体多結晶薄膜及び半導体装置 新技術説明会 2009/07/03 2018/02/08 島根大学
73 特願2005-220458 特許第4590560号 有機単分子膜成膜装置及び該方法 2009/05/08 2018/03/05 京都大学
74 特願2006-143925 特許第4839438号 被膜生成方法および被膜生成装置 2009/04/24 2018/02/20 宮崎大学
75 特願2003-064586 特許第3950967号 真空紫外光を用いたSi-O-Si結合を含む固体化合物膜の酸化ケイ素への改質方法及びパターン形成方法 2008/12/19 2018/03/14 防衛省
76 特願2007-012113 特許第4257437号 薄膜電極の製造方法 2008/08/15 2018/02/16 長岡技術科学大学
77 特願2005-131611 特許第4769014号 同軸磁化プラズマ生成装置と同軸磁化プラズマ生成装置を用いた膜形成装置 2008/03/14 2018/02/26 日大NUBIC
78 特願2003-042270 特許第4009719号 ニッケルシリサイド膜の作製方法 コモンズ 2008/03/10 2018/03/14 名古屋大学
79 特願2001-046866 特許第3820443号 レーザーアブレーションを利用したSiO2膜の形成法及び装置 2008/01/25 2018/03/20 防衛省
80 特願2005-350575 特許第4599595号 透明導電膜の製造方法および製造装置 2008/01/18 2018/02/26 金沢工業大学
81 特願2002-082289 特許第3673829号 レーザーアブレーションを利用した光学膜の屈折率制御方法及び光学素子形成方法 2007/11/16 2018/03/20 防衛省
82 特願2002-313636 特許第4195928号 原子レベルで平坦な金薄膜作製法 新技術説明会 2007/10/04 2018/03/20 鹿児島TLO
83 特願2005-282958 特許第4910124号 半導体薄膜製造装置および方法 新技術説明会 2007/08/31 2018/02/27 東京農工大学
84 特願2003-403597 特許第4288347号 マイクロ・ナノパターン構造体及びその製造方法 2007/07/27 2018/03/07 名古屋工業大学
85 特願2005-162166 特許第5224256号 単結晶炭化ケイ素基板の処理方法、半導体素子の製造方法 実績あり 2007/07/19 2018/02/26 関西学院大学
86 特願2005-164885 特許第4448792号 金属オキシナイトライド酸素還元電極触媒及びその製造方法 コモンズ 新技術説明会 2007/01/09 2018/02/26 科学技術振興機構(JST)
87 特願2003-154194 特許第4496361号 Ni基耐熱合金への耐熱セラミックス薄膜の被覆層の形成方法 2006/06/08 2018/03/15 原子力機構
88 特願2004-020536 特許第4644797号 レーザ照射方法及び装置、微細加工方法及び装置、並びに薄膜形成方法及び装置 コモンズ 2006/04/07 2018/03/09 京都大学
89 特願2004-224039 特許第4590225号 分子線エピタキシャル成長装置およびそれを用いたシリコン基板上へのIII族窒化物単結晶膜の製造方法 2006/01/06 2018/02/28 同志社大学
90 特願2002-286932 特許第3629544号 レーザー光を用いたSi-O-Si結合を含む固体化合物の表面改質法 2005/12/02 2018/03/20 防衛省
91 特願2001-086119 特許第3584284号 カルシウムシリサイド薄膜の成長方法 コモンズ 2005/01/18 2018/03/20 静岡大学
92 特願2002-247083 特許第3847682号 酸化物基板上への集積回路装置の製造方法及び装置 コモンズ 2004/05/14 2018/03/16 科学技術振興機構(JST)
93 特願2002-201897 特許第3926690号 ガスクラスターイオン援用酸化物薄膜形成方法 コモンズ 実績あり 2004/04/28 2018/03/16 科学技術振興機構(JST)
94 特願2002-197947 特許第3787719号 3元系相図薄膜の作製方法及びそれに用いるコンビナトリアル成膜装置用マスキング機構 コモンズ 2004/02/24 2018/03/16 科学技術振興機構(JST)
95 特願2001-182643 特許第4083396号 紫外透明導電膜とその製造方法 2003/08/28 2018/03/16 科学技術振興機構(JST)

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