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(In Japanese)YBa2Cu307-δ薄膜のコンビナトリアル合成“Carrousel法”

Research report code R000000482
Posted date Sep 30, 2002
Researchers
  • (In Japanese)高橋 竜太
  • (In Japanese)松本 祐司
  • (In Japanese)Mikk Lippmaa
  • (In Japanese)Mikk Lippmaa
  • (In Japanese)川崎 雅司
  • (In Japanese)鯉沼 秀臣
Affiliation
  • (In Japanese)東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
  • (In Japanese)東京工業大学応用セラミックス研究所
  • (In Japanese)東京工業大学総合理工学研究科
  • (In Japanese)文部科学省 無機材質研究所
  • (In Japanese)東北大学金属材料研究所
  • (In Japanese)東京工業大学応用セラミックス研究所
Research organization
  • (In Japanese)東京工業大学大学院総合理工学研究科
  • (In Japanese)文部科学省 物質・材料研究機構(旧無機材料研究所)
  • (In Japanese)東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
  • (In Japanese)東京工業大学応用セラミックス研究所
Report name (In Japanese)YBa2Cu307-δ薄膜のコンビナトリアル合成“Carrousel法”
Technology summary (In Japanese)高温超伝導体をはじめとする高い酸素雰囲気下で作製しなければならない薄膜合成では,プルームの回り込みが生じるため,これまでのコンビナトリアルマスク機構では,1度の実験で1つの基板上に複数のサンプルを作製することができなかった。そこで,PLD条件下でもコンビナトリアル合成が可能なCarrousel法と呼ばれる新たなコンビナトリアル合成手法を開発した。図1にCarrousel法の概念図を示した。コンビナトリアルマスクにはPartitionが装備されており,回り込みを防ぐことができる。Carrousel法ではこのマスクを固定して,基板を回転させることによって,1度の実験で1つの基板上に同心円上に8つのサンプルを作製することができる。また,図2に示すように,それぞれの膜についてRHEED観察を行うこともできる。このCarrousel法を用いてYBa2Cu3O7-δ薄膜のコンビナトリアル合成,SrO,BaO薄膜のRHEED強度振動の条件最適化を1回の実験で行うことができ,その有効性を実証した。
Drawing

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R000000482_01SUM.gif R000000482_02SUM.gif
Research field
  • Oxide thin films
  • Properties of oxide superconductors
  • Bases, metal oxides
Research project
  • Core Research for Evolutional Science and Technology;Single Molecule and Atom Level Reactions
Information research report
  • (In Japanese)高橋 竜太,松本 祐司,Mikk Lippmaa,川崎 雅司,鯉沼 秀臣. YBa2Cu3O7-δ薄膜のコンビナトリアル合成“Carrousel法”. 戦略的基礎研究推進事業 単一分子・原子レベルの反応制御 第4回シンポジウム —2期・3期チームの研究進捗— 講演要旨集,2000. p.104 - 104.

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