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(In Japanese)局所高電界場における極限物理現象の可視化観測と制御

Research report code R000000514
Posted date Sep 30, 2002
Researchers
  • (In Japanese)藤田 博之
Affiliation
  • (In Japanese)東京大学生産技術研究所
Research organization
  • (In Japanese)東京大学生産技術研究所
Report name (In Japanese)局所高電界場における極限物理現象の可視化観測と制御
Technology summary (In Japanese)真空トンネル電流の流れるギャップに代表される,原子オーダーで局在化した高電界場やナノ構造中での,原子移動や電子伝導を可視化観測するために,マイクロマシン応用ナノ探査ツール,位相差検出による超高分解能顕微法,第一原理に基づく理論計算によって研究を進めている。マイクロマシン班は,太さ100nm,長さ5μmのツインナノプローブを製作し超高分解電子顕微鏡中で動かした。先端はアクチュエーターで完全に閉じることができ,ナノ領域の量子構造や表面物性の測定に活用できる。可視化班は高精度位相シフト干渉計測法に取り組み,透過顕微鏡型の計測法とそれに基づくハードとソフト両面の技術を確立した(図1)。この方法を光導波路内部の屈折率分布の計測に応用し,サブμm領域における始めての観察例とした。理論班は高電界下の電子状態を計算する2つの方法論を開発した(図2と図3)。これらは相補的な有効範囲を持つため,真空マイクロデバイスの解析などに有効である。
Drawing

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R000000514_01SUM.gif R000000514_02SUM.gif R000000514_03SUM.gif
Research field
  • Particle motion and radiation by moving particles in electromagnetic fields
  • Applications of lasers
  • Optical waveguide, optical fibers, and fiber optics
  • Electronic structure in general
  • Manufacturing technology of solid‐state devices
Published papers related (In Japanese)(1)I.Nakajima,T.Kawai,K.Watanabe, "First-principles determination of potential barriers for field emissions from atomic-scale structures,"Surf.Sci.433-435(1999)868.
Research project
  • Core Research for Evolutional Science and Technology;Phenomena of Extreme Conditions
Information research report
  • (In Japanese)藤田 博之. 局所高電界場における極限物理現象の可視化観測と制御. 戦略的基礎研究推進事業「極限環境状態における現象」兼平成8年度採択研究課題終了シンポジウム 講演要旨集,2001. p.54 - 56.

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