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(In Japanese)単層カーボンナノチューブAFMカンチレバーを使ったナノ加工

Research report code R000000522
Posted date Sep 30, 2002
Researchers
  • (In Japanese)松本 和彦
  • (In Japanese)石井 正己
Affiliation
  • (In Japanese)産業技術総合研究所
  • (In Japanese)科学技術振興事業団 戦略的基礎研究推進事業
Research organization
  • (In Japanese)産業技術総合研究所
  • (In Japanese)科学技術振興事業団 戦略的基礎研究推進事業
Report name (In Japanese)単層カーボンナノチューブAFMカンチレバーを使ったナノ加工
Technology summary (In Japanese)10nm以下のデバイスを創製するため,単一壁面のカーボンナノチューブ(CN)AFMカンチレバーを開発した。図1はその概略の構造を示し,単一壁面CNはシリコンチップ上に直接成長する。このカンチレバーの作成工程はFeイオンを含む化学触媒が通常のSiカンチレバーチップへの注入法で被覆された後,試料はCVD炉に固定される。炭化水素ガスが高温で流され,単一壁面CNが触媒を使用して成長し始めるシリコンチップの頂上へ流れ,最後にシリコンチップに突き出す。CNは通常のSiカンチレバーより,10倍以上小さく,AFMナノ酸化加工の使用を図2に示す。CNAFMチップのサイズが小さいため,TiOXのサイズは図3に示すように6nmと小さく,通常のSiAFMチップを用いた場合より3~4倍ちいさい。新しく開発した作成方法を用いて6nm幅のトンネル接合に成功し,SET特性の改良に成功した。
Drawing

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R000000522_01SUM.gif R000000522_02SUM.gif R000000522_03SUM.gif
Research field
  • Quantum theory in general
  • Techniques and equipment of thin film deposition
  • Materials of solid‐state devices
Research project
  • Core Research for Evolutional Science and Technology;Function Evolution of Materials and Devices based on Electron/Photon Related Phenomena
Information research report
  • (In Japanese)松本 和彦,石井 正己. Nano-Fabrication using Single Wall Carbon Nanotube AFM Cantilever. 戦略的基礎研究推進事業「電子・光子等の機能制御」The First CREST Symposium on ''Function Evolution of Materials and Devices based on Electron/Photon Related Phenomena'',2000. p.21 - 27.

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