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(In Japanese)4探針STMの開発とそれによる表面電気伝導の測定

Research report code R000000666
Posted date Sep 30, 2002
Researchers
  • (In Japanese)白木 一郎
  • (In Japanese)田邊 輔仁
  • (In Japanese)保原 麗
  • (In Japanese)長尾 忠昭
  • (In Japanese)長谷川 修司
Affiliation
  • (In Japanese)東京大学大学院理学系研究科
  • (In Japanese)東京大学大学院理学系研究科
  • (In Japanese)東京大学大学院理学系研究科
  • (In Japanese)東京大学大学院理学系研究科
  • (In Japanese)東京大学大学院理学系研究科
Research organization
  • (In Japanese)東京大学大学院理学系研究科
Report name (In Japanese)4探針STMの開発とそれによる表面電気伝導の測定
Technology summary (In Japanese)独立駆動型超高真空4探針走査トンネル顕微鏡を開発した。これをミクロ領域での表面電気伝導度の測定に使用した。図は,4本のタングステン探針を駆動しているところの走査電子顕微鏡(SEM)像である。SEMで試料表面及び探針位置を観察しながら,伝導度を所望のプローブ間隔で測定できる。探針駆動は,粗動をマイクロスライドで,微動を8極型チューブピエゾ素子で行う。超高真空中で,シリコン(111)ウエハを清浄化して7×7構造を形成させた場合と,その表面上に銀原子を1原子層だけ吸着させたときに形成されるシリコンSi(111)-√3×√3-Ag表面で,探針間隔を1mmから1μmの間で変化させて電気抵抗を室温で測定した。プローブ間隔を小さくすると,原子ステップなどの表面欠陥の影響が減少し,バルク電子状態へのリーク電流も減少して,大きい電気抵抗の差を生じることが分った。
Drawing

※Click image to enlarge.

R000000666_01SUM.gif
Research field
  • Electron and ion microscopes
  • Surface structure of semiconductors
  • Electric conduction in crystalline semiconductors
  • Semiconductor‐metal contacts
Published papers related (In Japanese)(1)I.Shiraki,F.Tanabe,R.Hobara,T.Nagao,S.Hasegawa:Independently driven four-tip propes for conductivity measurements in ultrahigh vacuum,Surface Science 493(2001)643-653.
Research project
  • Core Research for Evolutional Science and Technology;Quantum Effects and Related Physical Phenomena
Information research report
  • (In Japanese)白木 一郎,田邊 輔仁,保原 麗,長尾 忠昭,長谷川 修司. 4探針STMの開発とそれによる表面電気伝導の測定. 戦略的基礎研究推進事業 量子効果等の物理現象 第4回シンポジウム予稿集,2000. p.54 - 54.

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