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(In Japanese)多結晶ダイヤモンド表面におけるD(重水素)原子の吸着と熱脱離現象

Research report code R013000290
Posted date Oct 1, 2003
  • (In Japanese)光田 好孝
  • (In Japanese)鍋田 朋哉
  • (In Japanese)IIS Univ. of Tokyo
  • (In Japanese)IIS Univ. of Tokyo
Research organization
  • (In Japanese)IIS Univ. of Tokyo
Report name (In Japanese)多結晶ダイヤモンド表面におけるD(重水素)原子の吸着と熱脱離現象
Technology summary (In Japanese)図1にこの実験の装置構成を示す。排気系にTMPとイオンポンプを用いた超高真空チャンバーで,AES分光器を備えている。Si(25mm×25mm)上にフィラメントCVD法で多結晶ダイヤモンドを堆積しその表面を研磨した試料を,Moホルダーに乗せる。ホルダーの裏には熱電対がつけてある。加熱はホルダーのすぐ下からWヒーターで行う。D原子のドーズと吸着はWチューブ(2000K)を通した重水素ガスを5×10-5Paで10分間流して行う。圧力が回復してからAESスペクトルを記録する。試料をセットした直後は試料からCOやCO2のようなガスが大量に放出され真空を悪くするので,試料は1100Kまで数回加熱した。ベーキングのあと,サンプルはAESスペクトルで見てグラファイト状炭素の性質を示した(図2のN=0)。グラファイト表面にD原子をさらすと,炭素微細構造のピークがダイヤモンド構造のピークに変わった(図2のN=1)。ドーズを繰り返すとピークは288eVから277eVに移った。この振る舞いは単結晶ダイヤモンドの(111)表面におけるD原子の吸着と同じである。

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R013000290_01SUM.gif R013000290_02SUM.gif
Research field
  • Electron spectroscopy in general and of inorganic molecules
  • Surface structure of semiconductors
  • Study of adsorption by physical means
Published papers related (In Japanese)(1)T. Yamada, T.J. Chuang, H. Seki and Y. Mitsuda, Mol. Phys., 76 (1991) 887.
Research project
  • Core Research for Evolutional Science and Technology;Function Evolution of Materials and Devices based on Electron/Photon Related Phenomena
Information research report
  • (In Japanese)光田 好孝,鍋田 朋哉. Adsorption and Thermal Desorption Phenomena of D atoms on Polycrystalline Diamond Surface.. The Second CREST Symposium on ''Function Evolution of Materials and Devices based on Electron/Photon Related Phenomena'',2001. p.56 - 56.