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(In Japanese)有機・無機複合ピラー構造の周期配列制御と機能発現

Research report code R070000274
File No. R070000274
Posted date Apr 11, 2008
Researchers
  • (In Japanese)瀬川 浩代
Affiliation
  • (In Japanese)東京工業大学大学院理工学研究科
Research organization
  • (In Japanese)東京工業大学大学院理工学研究科
Report name (In Japanese)有機・無機複合ピラー構造の周期配列制御と機能発現
Technology summary (In Japanese)リソグラフィー技術は近年の微細素子の作製において重要な役割を果たしている。用いる光源に応じて、数十nm~数μmオーダーの種々の微細素子を作製することが可能である。これらの方法において、アスペクト比(構造の高さ/構造間隔)が大きくなればなるほど、現像プロセスにおける凝集力が大きくなるため、作製した構造体が不安定になり、倒れることが知られている。本研究では、これらの倒れ現象を積極的に取り入れることによって、光感応性有機-無機複合材料に作製した数百nm~数μmオーダーの微細構造のピラー構造体の自己組織化により新しい周期構造体の形成を目指す。特に、凝集力などのパラメータの検討により、これらの構造作製時に起こる自己組織化に関与する因子を明らかにし、中・長距離的な周期性を有する構造体を創製し、さらにそれらの光学特性に注目して新規フォトニックデバイスとしての可能性を探る。
Drawing

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R070000274_01SUM.gif
Research field
  • Inorganic compounds and elements in general
Published papers related (In Japanese)(1) H Segawa, S. Yamaguchi, Y. Yamazaki, T. Yano, S, Shibata, and H. Misawa, "Top-Gathering Pillar Array of Hybrid Organic-Inorganic Material by Means of Self-organization", Appl. Phys. A., in press.
(2) H. Segawa, Y. Yamazaki, T. Yano. S. Shibata, "Top-Gathering Periodic Array Derived from the Self Organlzation of Inorganic Organic Hybrid Pillars", J. Ceram. Soc. Jpn., 114 (2006) 120-124.
Research project
  • Precursory Research for Embryonic Science and Technology.;Structural Ordering and Physical Properties, Nanostructure and Material Property, Light and Control.
Information research report
  • (In Japanese)瀬川 浩代. 有機・無機複合ピラー構造の周期配列制御と機能発現. ナノテクノロジー分野3領域合同研究報告会 講演要旨集 「秩序と物性」「ナノと物性」「光と制御」領域 (研究期間:2002-2005), 2006 . p.50 - 51.

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