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(In Japanese)極限環境状態における現象 局所高電界場における極限物理現象の可視化観測と制御

Research report code R990004290
Posted date Feb 6, 2001
Researchers
  • (In Japanese)藤田 博之
Affiliation
  • (In Japanese)東京大学生産技術研究所
Research organization
  • (In Japanese)東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
Report name (In Japanese)極限環境状態における現象 局所高電界場における極限物理現象の可視化観測と制御
Technology summary (In Japanese)本研究は超高電界強度,高電流密度などの極限的状況下における単一原子・分子の振舞いを可視化観察し,その物理特性の解明や制御を目指す。マイクロマシングループでは,10nm級規模の断面を有す自立性単結晶Si線構造を作製し,局所高電界の観測ツールとして利用が可能であることを確認した(図1)。また,透過型電子顕微鏡の内部で動作するトンネル電流制御機構とトンネルギャップを安定に制御する駆動機構を製作した(図2,図3)。可視化グループでは,干渉計からのデータの取込みや位相分布の計算など多くの機能を有した解析用ソフトウエアを開発した。また,超高分解能位相検出型電子顕微鏡本体の製作を完了すると共に,本手法をレーザ干渉顕微鏡に適用し試料の微小な屈折率差の可視化に成功した。理論解析グループでは,局在する高電界場中での原子や分子の振舞いおよび冷電子放出機構を第一原理に基づく理論により解析する。電極領域と対象領域との境界条件の取り方を工夫し,従来法より簡明でかつ同等の信頼性が期待できる計算方法を考案した。
Drawing

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Research field
  • Electrical/magnetic experimental techniques
  • Properties of atoms
  • Electronic structure of molecules
  • Properties of molecules in general
  • Manufacturing technology of solid‐state devices
Published papers related (In Japanese)(1)藤田博之,”新しいマイクロアクチュエータ”,電気学会誌,Vol.118,pp.364-365,電気学会,1998.6
(2)H. Fujita, “Microactuators and Micromachines,” PROCEEDINGS OF THE IEEE, Vol.86, No.8, pp.1721-1732, IEEE, 1998. 8
(3)藤田博之,”ナノの世界を開くマイクロマシン”,学術月報,Vol.51,No.7,pp.704(42)-709(47),日本学術振興会,1998. 7
(4)H. Fujita, H. Toshiyoshi, “Micro actuators and their applications,” Microelectronics Journal, Vol. 29, No. 9, pp. 637-640, Elsevier Science Ltd, 1998. 8
(5)Y. Wada, D. Kobayashi, H. Fujita "Micromachine Scanning tunneling Microscope Research in Japan" pp.41-58 in sensors Updata, vol.6, wiley-VCH (1999).
Research project
  • Core Research for Evolutional Science and Technology;Phenomena of Extreme Conditions
Information research report
  • (In Japanese)藤田 博之. 極限環境状態における現象 局所高電界場における極限物理現象の可視化観測と制御. 戦略的基礎研究推進事業 平成10年度 研究年報,1999. p.519 - 523.

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