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THERMAL INFRARED DETECTOR HAVING SMALL THERMAL TIME CONSTANT, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR

Seeds code S100002686
Posted date Nov 5, 2010
Researchers
  • (In Japanese)和田 英男
  • (In Japanese)小田 直樹
Name of technology THERMAL INFRARED DETECTOR HAVING SMALL THERMAL TIME CONSTANT, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
Technology summary (In Japanese)赤外線検出部であるダイアフラム5と、ダイアフラム5を支える梁部6と、ダイアフラム5の外周から外側方向に張り出しかつ空間を隔てて梁部6及びコンタクトパッドを覆う庇12とから成る熱分離構造を有している。このダイアフラム5は、保護膜8a~8dに取り囲まれた熱検出材料薄膜のボロメータ用薄膜7及び熱検出材料薄膜からの信号を読み出す電極部10から成る。また、梁部6は、保護膜8a~8cとこの保護膜に取り囲まれた金属配線9とから成り、この金属配線9は基板1の電気回路とコンタクトパッドを介して電気的に接続されている。ここで、基板1には、信号の読出回路が備えられていることが望ましい。庇及びダイアフラムの材料が赤外線に対して透明な場合、干渉効果による赤外吸収のため赤外線吸収膜11が、庇及びダイアフラムの赤外線入射面に成膜される。庇やダイアフラムが赤外線を吸収する材料でできている場合、赤外線吸収膜を成膜する必要はない。このようにして、ダイアフラム5の厚さが梁部6より薄くなっている。これにより、熱型赤外線検出器の熱時定数が小さくなり、高フレームレート動作が可能になる。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2002-319384.gif
Research field
  • Thin films in general
  • Infrared photometry and photodetectors
Seeds that can be deployed (In Japanese)高フレームレートの動作でも像流れを発生させず、且つ1/fノイズを増加させないような、熱分離を有する熱型赤外線検出器及びその製造方法を提供する。
ダイアフラムの熱容量を低減して熱時定数を小さくし、高フレームレートでの動作を可能にしている。その結果、像流れを防止することができる。また、熱検出材料薄膜のボロメータ用材料薄膜をダイアフラム全面に形成しているため、1/fノイズが増大することはない。
Usage Use field (In Japanese)熱分離構造
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)防衛装備庁長官, . (In Japanese)和田 英男, 小田 直樹, . THERMAL INFRARED DETECTOR HAVING SMALL THERMAL TIME CONSTANT, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR. P2004-151054A. May 27, 2004
  • G01J   1/02     
  • H01L  37/00     

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