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METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING LASER INTERFERENCE DISPLACEMENT

Seeds code S100003022
Posted date Nov 5, 2010
Researchers
  • (In Japanese)佐々木 修己
Name of technology METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING LASER INTERFERENCE DISPLACEMENT
Technology summary (In Japanese)正弦波状に変調した注入電流をレーザ光源10に入力し、波長を時間的に変化させながらレーザ光源10から光を発生させる。光を分割して被対象物Oの表面と参照面に各々反射させた後、被対象物表面からの物体光と参照面からの参照光を合成して干渉光を得る。干渉光を電気的な干渉信号に変換する。正弦波状の変調周波数を基準として、変調周波数の1周期に対し一定間隔で干渉信号をサンプリング取得する。このサンプリング取得した各信号を演算処理して被対象物の変位を測定する。正弦波状に変調した注入電流をレーザ光源に入力することで、レーザ光源から発生する光の波長も正弦波状に変化する。レーザ光源からの光は、被対象物の表面と参照面に各々反射して干渉し、この干渉光が電気的な干渉信号に変換されるが、レーザ光源に入力する注入電流は、急激な立上がりや立下りのない正弦波状の変化を繰り返すため、注入電流の変調周波数が例えば1.5MHz程度にまで高くなっても、干渉信号を正しくサンプリング取得することができる。そのため、正弦波状の変調周波数を基準として、被対象物の変位する時間よりも短く、変調周波数の1周期に対し一定の間隔で干渉信号をサンプリング取得すれば、サンプリング取得した複数の干渉信号の演算処理により、被対象物の変位を正しく測定できる。
Drawing

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thum_2004-290013.gif
Research field
  • Measuring methods and instruments of length, area, cross section, volume, angle
  • Interferometry and interferometers
  • Lasers in general
Seeds that can be deployed (In Japanese)精密加工機や精密測定器において、工作物,切削器具,測定対象物などの変位位置を精密に設定し、高速に、被対象物の変位を正確に測定できるようにする。
注入電流の変調周波数が高くなっても、干渉信号を正しくサンプリング取得することが可能になり、高速に被対象物の変位を正確に測定することができる。被対象物の変位測定にとって不必要なレーザ光源の光強度変化の影響を、効果的に排除することができる。
Usage Use field (In Japanese)変位測定装置
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人 新潟大学, . (In Japanese)佐々木 修己, . METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING LASER INTERFERENCE DISPLACEMENT. P2006-105669A. Apr 20, 2006
  • G01B  11/00     
  • G01B   9/02     

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