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LIGHT TIME-OF-FLIGHT TYPE RANGE SENSOR

Seeds code S100003170
Posted date Nov 5, 2010
Researchers
  • (In Japanese)川人 祥二
Name of technology LIGHT TIME-OF-FLIGHT TYPE RANGE SENSOR
Technology summary (In Japanese)光源から投射された繰り返しパルス光が測定対象物によりはね返ってきたときの遅れ時間に依存した信号を取り出すことにより距離測定を行う。半導体基板上に絶縁層3を設け、絶縁層3上に近接配置された導電性かつ測定対象の波長の光に対して透過性のある2つのフォトゲート電極1,2を設ける。フォトゲート電極1,2のそれぞれに対して、その端部の下層に設けられた第1の浮遊拡散層5,6とからなり、2つのフォトゲート電極1,2下及び2つのフォトゲート電極のギャップ下の半導体基板を受光層4として用いる。絶縁層は、CMOS集積回路製造過程におけるフィールド酸化膜を利用したものである。遅れ時間に依存した信号は、2つの第1の浮遊拡散層5,6からの信号であり、信号に基づいて距離測定を行う。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2004-041057.gif
Research field
  • Measuring methods and instruments of length, area, cross section, volume, angle
  • Optical instruments and techniques in general
  • Graphic and image processing in general
Seeds that can be deployed (In Japanese)光源から投射されたパルス光が測定対象物により、はね返ってきたときの遅れ時間を距離センサで測定する。
標準的CMOSプロセス、または簡単な工程の追加により、低コストで性能のよい距離センサを得る。
Usage Use field (In Japanese)距離画像撮像装置、固体撮像素子
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人静岡大学, . (In Japanese)川人 祥二, . LIGHT TIME-OF-FLIGHT TYPE RANGE SENSOR. P2005-235893A. Sep 2, 2005
  • G01S  17/10     
  • H01L  27/146    

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