Top > Quick Search > Search Technology seeds > MICRO NANO PATTERN STRUCTURE AND ITS MANUFACTURING METHOD

MICRO NANO PATTERN STRUCTURE AND ITS MANUFACTURING METHOD

Seeds code S100003706
Posted date Dec 2, 2010
Researchers
  • (In Japanese)田中 俊一郎
  • (In Japanese)三輪 紘敬
Name of technology MICRO NANO PATTERN STRUCTURE AND ITS MANUFACTURING METHOD
Technology summary (In Japanese)このマイクロ・ナノパターン構造体は、基板10上に超微粒子によって構成される超微細パターン12を形成して得られる。この場合、この超微細パターンが、超微粒子によって、マスク24の裏面に対応する基板上に形成された膜状の接続部20と、マスクの細隙乃至は細孔に対応する基板部分が高エネルギービームによって穿孔されて形成された微細な孔部22とから構成されている。ここで、この超微粒子は、基板上に所定の空間を隔てて積層配置された、細隙乃至は細孔を有するターゲット材からなるマスクへの高エネルギービームの斜め照射によって離脱した、マスクの構成原子又は構成分子からなっている。基板としては、一般に、金属基板、非金属基板、有機材料基板等が用いられ、そのような基板の上に、目的とする超微細パターンが、マスク内壁面に対する高エネルギービームの斜め照射によって生じた超微粒子によって、効果的に形成されるのである。また、高エネルギービームは、イオンビームであることが望ましく、イオンビームの照射によって、超微粒子がマスクから効果的に発生せしめられて、超微細パターンが、有利に製造される。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2003-403597.gif
Research field
  • Materials of solid‐state devices
  • Manufacturing technology of solid‐state devices
  • Printed circuits
Seeds that can be deployed (In Japanese)超微粒子によって構成される連続的な超微細パターンが効果的に形成されてなるマイクロ・ナノパターン構造体と、それを有利に製造し得る方法を提供する。
基板を貫通する微細な貫通孔を備えた連続的な超微細パターンが、超微粒子により、マスクの形状等に応じた所望の形状において容易に形成されるので、微細な貫通孔を備えた連続的な超微細パターンを利用する超微細デバイスや超微細機能材料、超微細配線等として有利に使用可能なマイクロ・ナノパターン構造体が、極めて確実に且つ安定的に製造され得る。
Usage Use field (In Japanese)マイクロマシン、半導体回路
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人 名古屋工業大学, . (In Japanese)田中 俊一郎, 三輪 紘敬, . MICRO NANO PATTERN STRUCTURE AND ITS MANUFACTURING METHOD. P2005-161465A. Jun 23, 2005
  • B81C   5/00     
  • B23K  15/00     
  • B82B   1/00     
  • C23C  14/46     
  • H01L  21/285    
  • H01L  21/3205   
  • H01L  29/06     

PAGE TOP