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METHOD OF FORMING THIN MAGNETIC FILM

Seeds code S100003826
Posted date Dec 3, 2010
Researchers
  • (In Japanese)森迫 昭光
  • (In Japanese)劉 小晰
Name of technology METHOD OF FORMING THIN MAGNETIC FILM
Technology summary (In Japanese)FexPt1-xからなる磁性微小粒子が非磁性マトリックス中にドットアレイ状に形成された磁性薄膜の形成方法であって、Feと非磁性材からなるターゲットを用いたスパッタリングを施して、下地10上に、非磁性材からなるマトリックス24中にFeがドットアレイ22に形成された薄膜20を成膜する。次いで、薄膜20にPt30をスパッタリングし、ドットアレイ24に形成されたFeに選択的にPtを拡散させ、非磁性材からなるマトリックス24中に、FexPt1-xからなるドットアレイ24aが形成された磁性薄膜を形成する。一般的な成膜方法として広く利用されているスパッタリング法を利用することによって、FePtがドットアレイ状に形成された磁性薄膜を形成することができる。スパッタリングによる成膜条件は適宜調節することが可能であり、磁気ディスク装置に用いるハードディスクの磁性薄膜として利用することも容易に可能である。また、形成されるFePtドットは数十nmといったナノレベルの微小粒として形成されるから、一平方インチあたり1テラビットという高密度記録を可能にする。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2005-289874.gif
Research field
  • Magnetic materials
  • Electronic recording, magnetic recording, optical recording
  • Sputtering
Seeds that can be deployed (In Japanese)情報をきわめて高密度に記録することを可能にするとともに、簡単にかつ安価に製造でき、磁気記録媒体に好適に利用することができる磁性薄膜の形成方法を提供する。
磁性薄膜にきわめて微細構造の磁性粒子をドットアレイ状に形成することが可能となり、これによってきわめて高密度の情報を記録することができる磁性薄膜が得られる。
Usage Use field (In Japanese)磁気ディスク装置、ハードディスク
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人信州大学, . (In Japanese)森迫 昭光, 劉 小晰, . METHOD OF FORMING THIN MAGNETIC FILM. P2007-103568A. Apr 19, 2007
  • H01F  10/14     
  • H01F  41/18     

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