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METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING CARBON NANOTUBE

Seeds code S100004311
Posted date Dec 7, 2010
Researchers
  • (In Japanese)永津 雅章
  • (In Japanese)荻野 明久
Name of technology METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING CARBON NANOTUBE
Technology summary (In Japanese)触媒金属を混入したグラファイト電極を用いて、ガス雰囲気中で、直流アーク放電により金属炭素複合クラスターを製造し、得られた複合クラスターを回収し、複合ナノサイズクラスターをシリコン基板上に蒸着堆積させ、シリコン基板に、負の電位を印加して、アルゴンプラズマを照射する、金属炭素複合クラスターをイオン衝撃により活性化する第1ステップと、第1ステップに続いて、シリコン基板に負の電位を印加して、炭化水素系混合ガスプラズマを照射する第2ステップとによりカーボンナノチューブを低温成長させて合成する。触媒金属は、ニッケル、鉄或いはコバルトと炭素である。炭化水素系混合ガスは、メタンまたはアセチレンと、水素、アルゴン、窒素、アンモニアおよびへリウムから選択されるガスからなる。混合ガスプラズマを照射する第2ステップにおけるバイアス電源の負電位を-100V~-200Vである。
Drawing

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thum_2006-003909_1.gif thum_2006-003909_2.gif
Research field
  • Materials of solid‐state devices
  • Manufacturing technology of solid‐state devices
  • Chemical equipment in general
Seeds that can be deployed (In Japanese)カーボンナノチューブ合成において、基板加熱を行うことなく、プラズマイオンのエネルギー制御により、常温下において達成できる作製方法および作製装置を得る。
カーボンナノチューブ合成に不可欠であった基板加熱を行うことなく、プラズマイオンのエネルギー制御により、常温下においてカーボンナノチューブの作製することができる。これにより、基板材料としてガラスや樹脂材を用いることができ、カーボンナノチューブの応用を飛躍的に広げることができ、さらに作製コストの低減を図ることができる。
Usage Use field (In Japanese)カ-ボンナノチユ-ブ
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人静岡大学, . (In Japanese)永津 雅章, 荻野 明久, . METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING CARBON NANOTUBE. P2007-186363A. Jul 26, 2007
  • C01B  31/02     

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