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EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE APPARATUS

Seeds code S110005085
Posted date Jan 4, 2011
Researchers
  • (In Japanese)東口 武史
  • (In Japanese)窪寺 昌一
Name of technology EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE APPARATUS
Technology summary (In Japanese)プラズマ発光光源装置1では、液体ターゲット吐出ノズル4は、真空状態に保持されるプラズマ発光室A内のレーザ光照射位置A1に液体ターゲットTを吐出する。液体ターゲット吐出ノズル4から吐出されてレーザ光照射位置A1を通過した液体ターゲットTは、液体ターゲット吐出ノズル4に対向する位置に配置された液体ターゲット回収用の内側回収筒9に進入する。内側回収筒9の内部の気体は、内側回収筒排気装置S1により排気される。このため、液体ターゲット吐出ノズル4から吐出されて内側回収筒9に進入した液体ターゲットTは、内側回収筒排気装置S1の排気に伴い、内側回収筒内部R1から排出される。そして、内側回収筒9の外側面と、その外周面を囲むように配置された外側回収筒13の内周面との間の円筒状空間R2の気体は、円筒状空間排気装置S2により排気される。このため、液体ターゲット吐出ノズル4から吐出されて内側回収筒9の外側面と外側回収筒13の内側面との間の円筒状空間R2に進入した液体ターゲットTは、円筒状空間排気装置S2の排気に伴い、円筒状空間R2から排出される。
Drawing

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thum_2004-342700.gif
Research field
  • Lasers in general
  • Electromagnetic waves in plasma
Seeds that can be deployed (In Japanese)液体ターゲットがその流体不安定性による形状および位置のふらつきによって液体ターゲット回収筒に回収されずに真空容器内に飛散することを防止する。
液体ターゲットがその流体不安定性による形状および位置のふらつきにより液体ターゲット回収筒に回収されずに真空容器内に飛散することが防止される。また、液体ターゲットが真空容器内に飛散して真空容器内の真空度が低下することが防止される。
Usage Use field (In Japanese)光源装置、液体ターゲット回収装置
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人 宮崎大学, . (In Japanese)東口 武史, 窪寺 昌一, . EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE APPARATUS. P2006-156577A. Jun 15, 2006
  • H01L  21/027    
  • G21K   5/08     
  • H05G   2/00     

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